本文選題：激光器 + 電磁輻射�。� 參考：《激光技術(shù)》2017年04期

【摘要】：為了抑制電激勵(lì)準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)產(chǎn)生的強(qiáng)電磁干擾,采用電磁輻射理論分析了準(zhǔn)分子激光器電磁輻射機(jī)理,確定了激光器輻射干擾源主要來源于激光器的主放電回路、出光口和氫閘流管;采用近場(chǎng)探頭分別對(duì)各關(guān)鍵部位不同距離電磁輻射進(jìn)行了測(cè)試;結(jié)合測(cè)試結(jié)果與電磁屏蔽原理對(duì)激光器電磁輻射進(jìn)行了屏蔽設(shè)計(jì)和屏蔽效能測(cè)試,針對(duì)準(zhǔn)分子激光系統(tǒng),提出了抑制電磁干擾的幾種措施。結(jié)果表明,設(shè)計(jì)的屏蔽盒的屏蔽效能達(dá)到40d B;引入電磁干擾抑制措施后,準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)能穩(wěn)定可靠工作。該研究滿足了工程實(shí)際要求。
[Abstract]:In order to suppress the strong electromagnetic interference produced by the electrically excited excimer laser system, the electromagnetic radiation mechanism of the excimer laser is analyzed by using the electromagnetic radiation theory, and the main discharge loop of the laser is determined as the main source of the laser radiation interference. The light outlet and hydrogen thyratron are used to measure the electromagnetic radiation at different distances in each key position, and the shielding design and shielding efficiency of laser electromagnetic radiation are tested by combining the test results and the electromagnetic shielding principle. Aiming at excimer laser system, several measures to suppress electromagnetic interference are put forward. The results show that the shielding efficiency of the designed shield box is up to 40 dB and the excimer laser system can work stably and reliably with the introduction of electromagnetic interference suppression measures. The research meets the practical requirements of engineering.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所;中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)研究生院科學(xué)島分院;
【分類號(hào)】：TN24

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