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薄片DKDP晶體前后表面損傷識別技術(shù)研究

發(fā)布時(shí)間:2018-03-21 03:49

  本文選題:DKDP晶體 切入點(diǎn):雙折射 出處:《紅外與激光工程》2017年08期  論文類型:期刊論文


【摘要】:在全內(nèi)反射邊緣照明的基礎(chǔ)上,利用DKDP晶體的雙折射特性,解決了區(qū)分DKDP晶體自身前后表面損傷的問題。紫外光入射到11 mm厚的DKDP晶體會分解為o光和e光,并在出射面產(chǎn)生254.738μm(理論值)的偏離量。這個(gè)偏離量導(dǎo)致DKDP晶體后表面損傷在CCD上成雙像(一個(gè)是o光成像,另一個(gè)是e光成像),可以用偏振片對雙像進(jìn)行調(diào)制;DKDP晶體前表面損傷在CCD上只有單像,不受偏振調(diào)制影響。通過偏振調(diào)制,可以避免重復(fù)提取同一個(gè)損傷信息,提高損傷識別精度。實(shí)驗(yàn)證明:該方法可以區(qū)分厚度為11 mm的DKDP晶體前后表面損傷。
[Abstract]:On the basis of total internal reflection edge illumination and using the birefringence of DKDP crystal, the problem of distinguishing the surface damage of DKDP crystal before and after it is solved. The ultraviolet light incident to 11 mm thick DKDP crystal will decompose into o light and e light. And produces a deviation of 254.738 渭 m (theoretical value) on the exit surface, which results in the damage of the back surface of DKDP crystal to double image on CCD (one is o light imaging, The other is the e light imaging device, which can modulate the front surface of the double image with polarizer. There is only a single image on the CCD, which is not affected by the polarization modulation. By polarization modulation, the same damage information can be avoided. The experimental results show that the method can distinguish the surface damage of DKDP crystal with thickness of 11 mm.
【作者單位】: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【分類號】:TN244

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本文編號:1642132

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