本文關(guān)鍵詞： 薄膜 紫外固化系統(tǒng) 熱輻射 過(guò)渡層 濾光膜　出處：《中國(guó)激光》2017年03期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了降低紫外固化系統(tǒng)光源的熱輻射,根據(jù)光學(xué)薄膜理論,以HfO_2、AlF_3和Cr作為鍍膜材料,采用反射與吸收相結(jié)合的結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)了紫外高反射、可見(jiàn)/近紅外高吸收的濾光膜。通過(guò)在基底和膜系之間增鍍Al膜作為過(guò)渡層,提高了薄膜的牢固性。通過(guò)優(yōu)化工藝參數(shù),研制了220~400nm波段平均反射率為90.6%、420~2000nm波段平均吸收率為92.4%的濾光膜。
[Abstract]:In order to reduce the thermal radiation of ultraviolet curing system, according to the theory of optical thin film, HfO _ 2AlF _ 3 and Cr were used as coating materials, and the structure of combination of reflection and absorption was adopted to design ultraviolet high reflectance. Visible / near infrared high absorption filter film. By adding Al film as transition layer between substrate and film system, the fastness of film is improved. A filter film with an average reflectivity of 90.6 ~ 420nm and an average absorptivity of 92.4% at 400 nm was prepared.
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;凱里學(xué)院物理與電子工程學(xué)院;
【基金】：吉林省重大科技攻關(guān)專項(xiàng)(20140203002GX) 貴州省科學(xué)技術(shù)基金博士基金(黔科合J字[2014]2148,黔教合重大專項(xiàng)字[2014]037)
【分類號(hào)】：TN23;O484

【參考文獻(xiàn)】

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