本文關(guān)鍵詞： 飛秒激光 脈沖燒蝕 刻槽燒蝕 恒彈合金 表面形貌　出處：《應(yīng)用激光》2017年03期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：恒彈性合金因其在一定溫度范圍內(nèi)彈性模量幾乎不隨溫度變化的特點(diǎn),在精密儀器儀表等制造領(lǐng)域應(yīng)用越來(lái)越廣泛,其表面加工的要求也越來(lái)越高。為研究飛秒激光在不同加工環(huán)境下對(duì)恒彈性合金的燒蝕情況,對(duì)比了兩種加工條件不同的燒蝕實(shí)驗(yàn)�？諝猸h(huán)境中;用150μm薄玻璃片壓貼在樣品表面,燒蝕方式分為定點(diǎn)燒蝕和刻槽兩種,用共聚焦顯微鏡和掃描電鏡測(cè)量了燒蝕后的恒彈合金形貌。結(jié)果表明,采用定點(diǎn)燒蝕的加工方式時(shí),相同激光參數(shù)下,空氣中燒蝕坑的直徑最小,深度最大;玻璃片約束下的坑的直徑最大,深度最小,當(dāng)激光能量為50μJ,脈沖數(shù)為100個(gè)時(shí),該約束下燒蝕坑的深度縮減量可達(dá)44.0%。采用刻槽的加工方式時(shí),在空氣中的槽的深度大,寬度較大,在玻璃片的約束下,加工的槽的深度和寬度都減小,當(dāng)激光能量為50μJ、掃描速度為1.5mm/s時(shí),其深度縮減量可達(dá)47.2%。
[Abstract]:Constant-elastic alloys are widely used in manufacturing fields such as precision instruments because their modulus of elasticity almost does not change with temperature in a certain temperature range. In order to study the ablation of constant-elastic alloy by femtosecond laser in different working environment, two ablation experiments with different processing conditions were carried out. A 150 渭 m thin glass sheet was pressed on the surface of the sample. The ablation methods were divided into two types: fixed point ablation and groove etching. The morphology of the ablated constant elastic alloy was measured by confocal microscope and scanning electron microscope. The results showed that when the fixed point ablation method was used, the morphology of the ablated alloy was measured by means of confocal microscope and scanning electron microscope. At the same laser parameters, the ablation pits in air have the smallest diameter and the largest depth, and the holes confined by glass are the largest in diameter and the smallest in depth, when the laser energy is 50 渭 J and the number of pulses is 100, The depth reduction of the ablation pit under this constraint can be up to 44.0.The depth and width of the slot in the air are large and the width of the groove is decreased under the constraint of glass sheet. When the laser energy is 50 渭 J and the scanning speed is 1.5 mm / s, the depth reduction can reach 47.2.
【作者單位】： 中南大學(xué)高性能復(fù)雜制造國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào):51475481,51475482,51335011) 教育部“新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃”資助項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào):NCET-12-0548)
【分類(lèi)號(hào)】：TG135.2;TN249

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本文編號(hào)：1532669