發(fā)布時(shí)間：2018-01-18 02:23

  本文關(guān)鍵詞：雙激光沉積鍺摻雜類金剛石膜的實(shí)驗(yàn)研究　出處：《中國激光》2017年03期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：提出了雙激光沉積摻雜薄膜技術(shù),利用準(zhǔn)分子納秒激光和飛秒激光分別燒蝕石墨和鍺靶材,保持準(zhǔn)分子納秒激光的參數(shù)不變,而將飛秒激光的脈沖頻率逐次由0提高至500 Hz,在硅基底上獲得鍺含量逐次增大的摻雜類金剛石膜。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:隨著鍺摻雜量的提高,鍺摻雜類金剛石膜的折射率略微增大,消光系數(shù)增大7.3倍;表面硬度呈近似的線性降低,降低幅度約為41.3%;內(nèi)應(yīng)力呈非線性減小并在某值趨于穩(wěn)定,降低幅度約為78.1%。牢固度實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,鍺摻雜量的提高可以增強(qiáng)類金剛石膜在基底上的附著性能,但不利于其對(duì)溶液的耐腐蝕性。研究結(jié)果為不同應(yīng)用目的的摻雜類金剛石膜及其復(fù)合膜層的設(shè)計(jì)提供了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ),且研究方法具有很強(qiáng)的可擴(kuò)展性,不僅僅限于實(shí)驗(yàn)所限薄膜范圍。
[Abstract]:A double-laser deposition technique for doped films is proposed in which excimer nanosecond laser and femtosecond laser are used to ablation graphite and germanium targets respectively and the parameters of excimer nanosecond laser are kept unchanged. When the pulse frequency of femtosecond laser was increased from 0 to 500 Hz, the doped diamond-like carbon films with increasing germanium content were obtained on the silicon substrate. The experimental results show that the doping amount of germanium increases with the increase of the doping amount of germanium. The refractive index of germanium doped diamond-like carbon film increases slightly and the extinction coefficient increases 7.3 times. The hardness of the surface decreases linearly, and the decrease is about 41.3%. The internal stress decreases nonlinearly and tends to stabilize at a certain value. The experimental results show that the increase of germanium doping can enhance the adhesion of diamond-like carbon films on the substrate. The results provide experimental basis for the design of doped diamond-like carbon films and their composite films for different purposes, and the research method has a strong scalability. It is not limited to the experimental range of thin films.
【作者單位】： 武漢軍械士官學(xué)校光電技術(shù)研究所;
【分類號(hào)】：O484
【正文快照】： 類金剛石(DLC)膜具有高硬度、耐磨損、抗劃傷、耐腐蝕等諸多優(yōu)勢(shì),在力學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、摩擦學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用潛力[1]。與其他沉積方法相比,脈沖激光沉積(PLD)技術(shù)制備的無氫DLC膜具有更高的硬0303001-1度和化學(xué)穩(wěn)定性。但是其內(nèi)應(yīng)力也很高,一般高于3GPa,甚至高于8GPa[2-

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1439038