本文關(guān)鍵詞：AlN陶瓷激光金屬化的研究進(jìn)展　出處：《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》2017年07期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：介紹了氮化鋁(AlN)陶瓷激光金屬化的進(jìn)展和金屬化過程中的問題以及主要解決方法。激光金屬化利用激光的熱效應(yīng)使AlN表面發(fā)生熱分解,直接生成金屬導(dǎo)電層,該方法具有成本低、效率高、設(shè)備維護(hù)簡單等優(yōu)點(diǎn)。進(jìn)一步介紹了激光器、光束質(zhì)量、工藝參數(shù)等的優(yōu)化方法以及AlN陶瓷金屬化的應(yīng)用,并對AlN陶瓷激光金屬化在未來的發(fā)展進(jìn)行了展望。
[Abstract]:The progress of laser metallization of AlN ceramics and the problems in the process of metallization and their main solutions are introduced. The surface of AlN is decomposed by laser metallization using the thermal effect of laser. The method has the advantages of low cost, high efficiency and simple equipment maintenance. The laser and beam quality are further introduced. The optimization method of process parameters and the application of AlN ceramic metallization are also discussed. The future development of AlN ceramic laser metallization is prospected.
【作者單位】： 桂林電子科技大學(xué)信息與通信學(xué)院;中國科學(xué)院微電子研究所微電子設(shè)備技術(shù)研究室;中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體集成技術(shù)工程中心;清華大學(xué)精密儀器系微納制造器件與系統(tǒng)協(xié)同創(chuàng)新中心精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61376083) 中國博士后科學(xué)基金特別資助(2015T80080)
【分類號(hào)】：TN24
【正文快照】： 1 引言 近年來,隨著大規(guī)模集成電路及電子設(shè)備向高速化、多功能、小型化、低功耗方向發(fā)展,相關(guān)應(yīng)用對高性能、高密度電路的需求日益增加。其中,芯片制造業(yè)對芯片的封裝測試也提出了要求,需要尋找更優(yōu)異的材料用于封裝制備。氮化鋁(AlN)陶瓷具有導(dǎo)熱系數(shù)高、膨脹系數(shù)低、介電

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本文編號(hào)：1428328