本文關(guān)鍵詞：超潤滑石墨表面的光譜表征研究　出處：《光學(xué)精密工程》2017年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：為探尋解決微/納機(jī)電系統(tǒng)中摩擦和磨損等界面效應(yīng)問題的理想新方法,研究了石墨接觸界面對石墨超潤滑的影響及阻力來源。首先,利用電子束曝光、反應(yīng)離子束刻蝕等微加工方法制備了微米級石墨平臺,并使用微納機(jī)械手推動石墨平臺獲得了具有超潤滑特性的石墨表面。然后使用拉曼光譜、納米級紅外光譜和原子力顯微鏡對獲得的超潤滑石墨表面進(jìn)行表征。最后使用了能譜儀對石墨平臺進(jìn)行了微區(qū)元素分析。結(jié)果表明,超潤滑石墨表面具有原子級光滑的平整度,并具有極高的有序度,而石墨表面的邊緣具有多種缺陷并在加工過程中及大氣環(huán)境中吸附了多種分子,邊緣的氧原子含量比面內(nèi)氧原子含量高出了24.2%。推動石墨平臺的過程中,邊緣吸附分子會阻礙超潤滑石墨接觸界面發(fā)生相對滑動,克服這些分子的吸附需要能量,這成為摩擦阻力的來源。
[Abstract]:In order to find a new ideal method for solving the interfacial effects of friction and wear in micro / nano electro - mechanical system , the influence of graphite contact interface on graphite superlubrication and the source of resistance were studied . First , the graphite platform was prepared by electron beam exposure , reactive ion beam etching and so on .

【作者單位】： 軍械工程學(xué)院電子與光學(xué)工程系;清華大學(xué)精密儀器系;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(No.51375263)
【分類號】：O433;O613.71
【正文快照】： 1引言摩擦及其引發(fā)的磨損對能源、工業(yè)和經(jīng)濟(jì)等存在巨大影響,一直是人類面對的重大科技挑戰(zhàn)。據(jù)統(tǒng)計,全世界約有三分之一的一次能源浪費(fèi)在摩擦過程中,機(jī)械零部件失效約有百分之八十是由摩擦磨損引起的[1]。在微/納機(jī)電系統(tǒng)及具有微納摩擦副的器件中,由于比表面積大,摩擦和磨損

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本文編號：1376310