本文關(guān)鍵詞：毛細(xì)力輔助飛秒激光直寫制備各向異性及多級(jí)結(jié)構(gòu)　出處：《光學(xué)精密工程》2017年08期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：將飛秒激光雙光子聚合加工技術(shù)和毛細(xì)力誘導(dǎo)自組裝技術(shù)相結(jié)合實(shí)現(xiàn)了各向異性結(jié)構(gòu)和多級(jí)結(jié)構(gòu)的制備。首先,使用飛秒激光雙光子加工技術(shù)加工出微柱陣列,將微柱置于顯影液中顯影,然后放置在空氣中。在顯影液蒸發(fā)的過程中,微柱結(jié)構(gòu)單元受到毛細(xì)力的作用而彎曲實(shí)現(xiàn)自組裝。通過控制微柱的高度和直徑的不一致性實(shí)現(xiàn)了兩種各向異性結(jié)構(gòu)制備方法,并成功制備了底層微柱直徑分別為2μm和6μm雙層結(jié)構(gòu)。由于毛細(xì)力的大小和微柱高度無關(guān),且同樣端部變形量下較高微柱的彈性回復(fù)力小于較低微柱的彈性回復(fù)力,更易發(fā)生彎曲;直徑較大的微柱具有更強(qiáng)的抗彎曲能力,從而引導(dǎo)直徑較小的微柱向較大的微柱傾斜,藉此制備了各向異性結(jié)構(gòu)。使用毛細(xì)力自組裝輔助飛秒激光微納加工可以實(shí)現(xiàn)靈活可控的復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)的加工,并將在生物醫(yī)藥、化學(xué)分析、微流體等領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。
【作者單位】： 安徽大學(xué)電氣工程與自動(dòng)化學(xué)院;安徽大學(xué)計(jì)算智能與信號(hào)處理教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機(jī)械與精密儀器系;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61475149,No.51405464,No.61377006,No.51275502,No.11204250) 安徽省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.1408085ME104) 教育部留學(xué)回國人員科研啟動(dòng)基金資助項(xiàng)目 安徽大學(xué)研究生學(xué)術(shù)創(chuàng)新研究項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 1引言飛秒激光雙光子聚合加工技術(shù)可對(duì)任意復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)進(jìn)行真三維直寫,具有無需光學(xué)掩膜,加工分辨率可突破衍射極限等優(yōu)點(diǎn)[1]。因此,飛秒激光雙光子聚合技術(shù)被廣泛應(yīng)用于加工微光學(xué)器件[2-3]、微流體器件[4-5]、超材料等[6]。然而,飛秒激光微納加工作為一種自上而下的加工技

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