本文關(guān)鍵詞：回轉(zhuǎn)內(nèi)圓柱面的非拼接干涉測量方法

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【摘要】：介紹了一個(gè)特殊結(jié)構(gòu)的干涉測試方法和系統(tǒng),基于Fizeau(菲索)干涉原理,通過一高精度直角圓錐鏡來實(shí)現(xiàn)圓柱坐標(biāo)系與直角坐標(biāo)的轉(zhuǎn)換。該系統(tǒng)可以用來測量360°回轉(zhuǎn)圓柱的表面形貌,并且無需圖像拼接,可一次性獲取整周的面形數(shù)據(jù)。通過對系統(tǒng)主成分誤差的計(jì)算分析,及Matlab軟件數(shù)值仿真,建立了圓柱坐標(biāo)系下的誤差校正矩陣。并針對一環(huán)形樣品進(jìn)行實(shí)際測量,測試結(jié)果經(jīng)過主成分誤差校正后,與Taylor Hobson接觸式圓柱度儀的測量結(jié)果一致,通過最小二乘圓(LSC)的圓度評定方法計(jì)算得到的圓度誤差值十分接近。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:該測量方法可有效地實(shí)現(xiàn)圓柱體整周表面形貌的測量,解決了目前回轉(zhuǎn)光學(xué)元件的測量難度大、測試效率低等問題。
【作者單位】： 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司;
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)(2013YQ150829) 上海市科研計(jì)劃項(xiàng)目(14140502500)
【分類號】：O436.1
【正文快照】： 3.蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司,江蘇蘇州215123)0引言柱面是特殊的非球面,其子午線始終沿圓柱軸線方向。高精度的柱面元件由于其自身的優(yōu)越特性,廣泛應(yīng)用在測試計(jì)量、航空航天、工業(yè)加工等領(lǐng)域中[1-3]。尤其隨著空氣軸承與精密慣性技術(shù)的不斷發(fā)展,精密軸類零件的優(yōu)越性和重要性

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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2 孫昊;韓森;唐壽鴻;王芳;殷留留;;干涉測量圓柱內(nèi)表面的失調(diào)誤差分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2017年01期

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【二級參考文獻(xiàn)】

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9 黃燕群,田愛玲;光柵投影測量物體三維輪廓的條紋中心線相對偏移量的獲取[J];應(yīng)用光學(xué);2004年06期

10 林俊義,黃常標(biāo),江開勇;一種提高光柵投影輪廓術(shù)精度的方法[J];光電工程;2004年07期

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 張山;譚久彬;王雷;程陶;;激光直寫中誤差校正迭代方法的改進(jìn)(英文)[J];光學(xué)精密工程;2010年02期

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本文編號：1293516