發(fā)布時間：2017-12-15 16:20

  本文關(guān)鍵詞：K9玻璃表面顆粒污染物的激光清洗

  更多相關(guān)文章： 激光直接輻照清洗 激光等離子體沖擊波清洗 顆粒污染物 K玻璃

【摘要】：采用光學(xué)顯微鏡、紫外-可見-近紅外分光光度計、圖像分析軟件等,對K9玻璃表面的灰塵顆粒污染物進(jìn)行了激光直接輻照清洗及激光誘導(dǎo)等離子體沖擊波清洗研究。結(jié)果表明,經(jīng)激光直接輻照清洗后,其透射率得到大幅度的提高,但對微小顆粒移除效果不佳,且易于引起元件的激光輻照損傷;激光誘導(dǎo)等離子體沖擊波清洗,能取得更好的清洗效果,且沒有出現(xiàn)基底損傷。經(jīng)激光誘導(dǎo)等離子體清洗后(激光誘導(dǎo)等離子體距樣品表面距離1 mm,等效激光作用脈沖數(shù)10個,激光波長1 064 nm,激光能量70.7 m J),K9玻璃表面的355 nm激光損傷閾值(50%損傷幾率)由5.8 J/cm~2提高到8.0 J/cm~2,與基底閾值8.5 J/cm~2相當(dāng)。
【作者單位】： 電子科技大學(xué)物理電子學(xué)院;四川工程職業(yè)技術(shù)學(xué)院材料工程系;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(61505023)
【分類號】：TN249
【正文快照】： 2.四川工程職業(yè)技術(shù)學(xué)院材料工程系,四川德陽618000)0引言隨著光學(xué)元件加工技術(shù)和處理能力的不斷提高,高功率固體裝置的建造規(guī)模和負(fù)載能力也隨之提升[1]。顆粒污染物通過沉降、吸附等過程到達(dá)光學(xué)元件的表面,將對光束有強(qiáng)烈的調(diào)制作用,影響激光能量分布均勻性,從而降低光學(xué)元

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 藺銀鼎;武小剛;郝興宇;韓，

本文編號：1292612