本文關鍵詞：基于SOI微環(huán)諧振腔的表面光滑化研究

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【摘要】：針對硅波導粗糙側壁引起的散射損耗是影響SOI微環(huán)諧振腔傳輸性能主要因素的問題,采用熱氧化對MEMS工藝制備的微環(huán)諧振腔粗糙側壁進行表面光滑化修飾。利用耦合實驗測試其傳輸性能,同時分析了熱氧化溫度與微環(huán)諧振腔傳輸特性之間的關系。實驗結果表明,氧化溫度在1 000℃時,硅波導粗糙側壁改善效果明顯,此時微環(huán)諧振腔具有較好的耦合效率和較高的Q值,Q值高達1.2×104。實驗結果為硅波導傳感器表面光滑化研究提供了重要的參考依據(jù)。
【作者單位】： 中北大學電子測試技術國家重點實驗室儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金項目(61675185,61275166) 山西省自然科學基金項目(2016010203100046) 山西省高等院校中青年拔尖創(chuàng)新人才及山西省高�！�131”領導人才計劃項目 中北大學杰出青年基金項目
【分類號】：TN256
【正文快照】： 0引言隨著集成光學的發(fā)展,絕緣體上硅(silicon on insu-lator,SOI)微納光子器件的制造及集成迅速成為關注的熱點。SOI材料憑借硅材料與二氧化硅材料之間的高折射率差,有效地減少了光泄漏,從而廣泛應用在光開關、濾波器、激光器、光調制器、隔離器和光學陀螺等多個領域[1-4]。

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 鄒品;韓秀友;王瑜;王凌華;谷一英;王錦艷;蹇錫高;趙明山;;可調諧集成光波導射頻濾波器研究[J];光學學報;2013年10期

2 劉毅;仝曉剛;于晉龍;薛晨陽;王文睿;郭精忠;王菊;韓丙辰;楊恩澤;;基于熱非線性效應的硅基串聯(lián)雙微環(huán)諧振腔全光開關[J];中國激光;2013年02期

3 李帥;吳遠大;尹小杰;安俊明;李建光;王紅杰;胡雄偉;;Tunable filters based on an SOI nano-wire waveguide micro ring resonator[J];半導體學報;2011年08期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 蘇瑩;趙學峰;張志東;閆樹斌;;基于SOI微環(huán)諧振腔的表面光滑化研究[J];儀表技術與傳感器;2017年01期

2 郭凱麗;王智;李智勇;李強;樂燕思;吳重慶;;基于SOI的高Q微環(huán)諧振腔的研究[J];半導體光電;2016年04期

3 張偉;唐軍;劉麗雙;;級聯(lián)環(huán)形諧振腔溫漂抑制效應實驗研究[J];傳感技術學報;2016年08期

4 張尚;吳蓉;王朝;許利沙;;并聯(lián)微環(huán)諧振器耦合誘導透明傳輸特性研究[J];電子科技;2016年05期

5 韓一石;羅志霄;覃新宇;鄭振宇;;可選頻的多路波分復用光纖無線系統(tǒng)[J];中國激光;2016年05期

6 董小偉;劉Z赯，

本文編號：1273993