本文關(guān)鍵詞：基于SOI微環(huán)諧振腔的表面光滑化研究

  更多相關(guān)文章： 微機(jī)電系統(tǒng) 絕緣體上硅 微環(huán)諧振腔 熱氧化 品質(zhì)因數(shù) 傳輸損耗 側(cè)壁粗糙度

【摘要】：針對(duì)硅波導(dǎo)粗糙側(cè)壁引起的散射損耗是影響SOI微環(huán)諧振腔傳輸性能主要因素的問題,采用熱氧化對(duì)MEMS工藝制備的微環(huán)諧振腔粗糙側(cè)壁進(jìn)行表面光滑化修飾。利用耦合實(shí)驗(yàn)測(cè)試其傳輸性能,同時(shí)分析了熱氧化溫度與微環(huán)諧振腔傳輸特性之間的關(guān)系。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,氧化溫度在1 000℃時(shí),硅波導(dǎo)粗糙側(cè)壁改善效果明顯,此時(shí)微環(huán)諧振腔具有較好的耦合效率和較高的Q值,Q值高達(dá)1.2×104。實(shí)驗(yàn)結(jié)果為硅波導(dǎo)傳感器表面光滑化研究提供了重要的參考依據(jù)。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61675185,61275166) 山西省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(2016010203100046) 山西省高等院校中青年拔尖創(chuàng)新人才及山西省高�！�131”領(lǐng)導(dǎo)人才計(jì)劃項(xiàng)目 中北大學(xué)杰出青年基金項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN256
【正文快照】： 0引言隨著集成光學(xué)的發(fā)展,絕緣體上硅(silicon on insu-lator,SOI)微納光子器件的制造及集成迅速成為關(guān)注的熱點(diǎn)。SOI材料憑借硅材料與二氧化硅材料之間的高折射率差,有效地減少了光泄漏,從而廣泛應(yīng)用在光開關(guān)、濾波器、激光器、光調(diào)制器、隔離器和光學(xué)陀螺等多個(gè)領(lǐng)域[1-4]。

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 鄒品;韓秀友;王瑜;王凌華;谷一英;王錦艷;蹇錫高;趙明山;;可調(diào)諧集成光波導(dǎo)射頻濾波器研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年10期

2 劉毅;仝曉剛;于晉龍;薛晨陽(yáng);王文睿;郭精忠;王菊;韓丙辰;楊恩澤;;基于熱非線性效應(yīng)的硅基串聯(lián)雙微環(huán)諧振腔全光開關(guān)[J];中國(guó)激光;2013年02期

3 李帥;吳遠(yuǎn)大;尹小杰;安俊明;李建光;王紅杰;胡雄偉;;Tunable filters based on an SOI nano-wire waveguide micro ring resonator[J];半導(dǎo)體學(xué)報(bào);2011年08期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 蘇瑩;趙學(xué)峰;張志東;閆樹斌;;基于SOI微環(huán)諧振腔的表面光滑化研究[J];儀表技術(shù)與傳感器;2017年01期

2 郭凱麗;王智;李智勇;李強(qiáng);樂燕思;吳重慶;;基于SOI的高Q微環(huán)諧振腔的研究[J];半導(dǎo)體光電;2016年04期

3 張偉;唐軍;劉麗雙;;級(jí)聯(lián)環(huán)形諧振腔溫漂抑制效應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2016年08期

4 張尚;吳蓉;王朝;許利沙;;并聯(lián)微環(huán)諧振器耦合誘導(dǎo)透明傳輸特性研究[J];電子科技;2016年05期

5 韓一石;羅志霄;覃新宇;鄭振宇;;可選頻的多路波分復(fù)用光纖無(wú)線系統(tǒng)[J];中國(guó)激光;2016年05期

6 董小偉;劉Z赯，

本文編號(hào)：1273993