本文關(guān)鍵詞：氧化鋅薄膜的準(zhǔn)分子激光退火熱效應(yīng)模擬分析

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【摘要】：基于熱傳導(dǎo)方程建立了ZnO薄膜的準(zhǔn)分子激光輻照理論模型,模擬分析了KrF準(zhǔn)分子激光輻照Z(yǔ)nO薄膜的熱效應(yīng)。計(jì)算了薄膜的溫度場(chǎng)分布和熱流分布,討論了激光作用過(guò)程中的溫度隨時(shí)間的變化關(guān)系,分析了激光能量密度對(duì)薄膜溫度場(chǎng)的影響。模擬結(jié)果表明,ZnO薄膜的準(zhǔn)分子激光退火具有急熱驟冷特性,ZnO薄膜表面溫度與激光能量密度呈線(xiàn)性增長(zhǎng)關(guān)系,表面熱熔融閾值為261mJ/cm2。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所安徽省光子器件與材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;電子工程學(xué)院脈沖功率激光技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：脈沖功率激光技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放研究基金項(xiàng)目(SKL2014KF03)
【分類(lèi)號(hào)】：O484.4;TN249
【正文快照】： 在太陽(yáng)能電池、平板顯示、有機(jī)發(fā)光器件等領(lǐng)域中,透明電極是關(guān)鍵部件之一。器件的可穿戴性使透明電極的低溫處理顯得尤為重要,準(zhǔn)分子激光輻照技術(shù)的引入,為高質(zhì)量透明電極的低溫制備提供了一種可能。在準(zhǔn)分子激光對(duì)透明電極薄膜材料的輻照過(guò)程中,激光束使薄膜快速熔融并重結(jié)晶

【相似文獻(xiàn)】

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