本文關(guān)鍵詞：飛秒激光輔助制備熔石英表面的網(wǎng)格狀微流體

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【摘要】：報(bào)道了一種利用飛秒激光直寫后再用化學(xué)腐蝕熔石英表面制備得到網(wǎng)格狀微流體溝道,然后在其表面覆蓋一層PDMS薄膜制備網(wǎng)格狀半密閉微流體通道的方法。微流體溝道的形成機(jī)制可以定義為飛秒激光輻照導(dǎo)致基底材料改性,而改性區(qū)域?qū)F水溶液的溶解度增強(qiáng)。使用光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡(SEM)表征了網(wǎng)格狀微流體通道的形貌。此外,為了測(cè)試該微流體結(jié)構(gòu)的流動(dòng)特性,進(jìn)行了液體注入實(shí)驗(yàn)。
【作者單位】： 四川大學(xué)電子信息學(xué)院激光微納工程研究所四川省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;華北光電技術(shù)研究所;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金重大項(xiàng)目(No.11574221)資助
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： i引言過去的20年里,由于微流體系統(tǒng)具有小型化和高度集成系統(tǒng)的能力,已經(jīng)引起了廣泛關(guān)注。同時(shí),微流體系統(tǒng)可以用于各種化學(xué)和生物分析應(yīng)用[1_3]。作為微-全分析系統(tǒng)U-TAS)[4%關(guān)鍵元件,對(duì)于微流體通道的研究是迫切的。光刻法至今依然是制備微流體通道的主要方法,該方法實(shí)際上

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本文編號(hào)：1265953