本文關(guān)鍵詞：超薄柔性顯示襯底R(shí)oll-to-Roll化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)研制，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：304不銹鋼帶作為本文的研究對(duì)象,是目前柔性顯示襯底中選用最多的材料,而柔性顯示正成為下一代顯示器的最具應(yīng)用前景的技術(shù),是未來(lái)顯示器發(fā)展的潮流。因此在可預(yù)見(jiàn)的未來(lái),強(qiáng)勁需求的柔性顯示襯底市場(chǎng)必將促使304不銹鋼占據(jù)著柔性襯底材料的半壁江山。針對(duì)將不銹鋼帶加工成柔性襯底的技術(shù)難題就是鋼帶材料表面粗糙度較高,況且又是針對(duì)大尺寸超薄柔性鋼帶,其加工難度更加提高。目前,具有全局性平整能力的超精密加工方法也只有化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)�；瘜W(xué)機(jī)械拋光技術(shù)作為常見(jiàn)超精密加工方法之一,主要用于金屬材料、硬脆材料以及其他材料的表面超光滑無(wú)損傷加工。同時(shí),化學(xué)機(jī)械拋光加工技術(shù)也是現(xiàn)階段被公認(rèn)的能夠?qū)崿F(xiàn)工件被加工面的局部性及整體性的平整和低粗糙度的最優(yōu)技術(shù)工藝。目前,作為實(shí)現(xiàn)CMP技術(shù)的載體傳統(tǒng)拋光機(jī)裝備而言,它仍進(jìn)行著單張批量式的加工模式。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,新生事物的不斷涌現(xiàn),針對(duì)柔性顯示器提出了的柔性顯示襯底R(shí)oll-to-Roll(卷對(duì)卷)連續(xù)超精密加工技術(shù),進(jìn)而對(duì)其的載體加工設(shè)備提出了新的功能要求。而面向于柔性不銹鋼帶的化學(xué)機(jī)械拋光加工技術(shù),還未展開(kāi)相關(guān)的研究工作,更未有針對(duì)柔性鋼帶Roll-to-Roll式拋光加工的研究?jī)?nèi)容。對(duì)于提出的新的拋光加工模式,針對(duì)柔性襯底進(jìn)行Roll-to-Roll式連續(xù)化學(xué)機(jī)械拋光加工的設(shè)備目前國(guó)內(nèi)外還未出現(xiàn)。因此本文的研究目的就是研制出一種適合于Roll-to-Roll連續(xù)高效化學(xué)機(jī)械平坦化裝置。本文選擇了寬600mm、厚度0.05mm的卷狀304不銹鋼柔性薄片做為設(shè)計(jì)根據(jù),首先著手于不同拋光加工部件的運(yùn)動(dòng)機(jī)理分析以及拋光機(jī)各功能模塊的方案擬定,進(jìn)而確定出設(shè)備的總體方案。然后根據(jù)對(duì)現(xiàn)有拋光機(jī)的工藝參數(shù)研究分析和304不銹鋼CMP加工的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)驗(yàn)證,確定出本課題CMP拋光機(jī)的設(shè)計(jì)依據(jù)。最后,根據(jù)Roll-to-Roll連續(xù)平坦化系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)學(xué)關(guān)系及材料去除機(jī)理的研究結(jié)果,并參考目前傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)、工件與拋光墊的相對(duì)運(yùn)動(dòng)關(guān)系、相關(guān)工藝參數(shù)控制方式等,設(shè)計(jì)出卷對(duì)卷式化學(xué)機(jī)械拋光平坦化試驗(yàn)臺(tái)。通過(guò)上述基礎(chǔ)性的研究?jī)?nèi)容后,首先展開(kāi)了卷對(duì)卷式化學(xué)機(jī)械拋光平坦化試驗(yàn)臺(tái)的主要零部件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)校核,然后再對(duì)設(shè)備中的一些輔助功能的結(jié)構(gòu)件進(jìn)行了設(shè)計(jì),同時(shí)根據(jù)設(shè)備中各個(gè)功能模塊的局部零部件圖的裝配情況來(lái)設(shè)計(jì)拋光機(jī)整體機(jī)架結(jié)構(gòu)。最后完成了化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)設(shè)備的控制系統(tǒng)方案及其硬件選型。
【關(guān)鍵詞】：化學(xué)機(jī)械拋光 Roll-to-Roll式拋光機(jī) 柔性顯示襯底 304不銹鋼帶
【學(xué)位授予單位】：河南工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TN873
【目錄】：

• 摘要4-6
• ABSTRACT6-11
• 1 緒論11-23
• 1.1 論文的選題背景11-21
• 1.1.1 顯示器及其發(fā)展?fàn)顩r11-12
• 1.1.2 柔性顯示器制造用的柔性襯底材料及其加工的關(guān)鍵技術(shù)12-14
• 1.1.3 化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)簡(jiǎn)介14-15
• 1.1.4 傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)種類及特點(diǎn)15-19
• 1.1.5 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀19-21
• 1.2 課題的來(lái)源、研究目的及意義21
• 1.3 論文的主要研究?jī)?nèi)容21-22
• 1.4 本章小結(jié)22-23
• 2 拋光部件的運(yùn)動(dòng)機(jī)理分析及總體結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì)23-34
• 2.1 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)不同拋光部件的運(yùn)動(dòng)機(jī)理分析23-26
• 2.1.1 Roll-to-Roll盤式拋光機(jī)的運(yùn)動(dòng)模型建立和運(yùn)動(dòng)參數(shù)影響分析23-25
• 2.1.2 Roll-to-Roll輥式拋光機(jī)的運(yùn)動(dòng)模型建立和運(yùn)動(dòng)參數(shù)影響分析25-26
• 2.2 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)總體結(jié)構(gòu)方案的確定26-32
• 2.2.1Roll-to-Roll式拋光機(jī)功能模塊的組成26-31
• 2.2.2Roll-to-Roll輥式拋光機(jī)設(shè)計(jì)方案的確定31-32
• 2.3 本章小結(jié)32-34
• 3 CMP拋光機(jī)本體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)34-66
• 3.1 拋光機(jī)主要設(shè)計(jì)依據(jù)34-41
• 3.1.1 不銹鋼片化學(xué)機(jī)械拋光實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)34-38
• 3.1.2 傳統(tǒng)拋光機(jī)化學(xué)機(jī)械拋光工藝常用參數(shù)38-40
• 3.1.3 化學(xué)機(jī)械拋光工件與拋光墊產(chǎn)生的最大摩擦力40-41
• 3.2 粗、精拋光部件設(shè)計(jì)41-55
• 3.2.1 粗、精拋光輥結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)計(jì)算41-49
• 3.2.2 加壓機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)49-52
• 3.2.3 粗、精拋光傳動(dòng)系統(tǒng)52-55
• 3.3 收、放卷部件設(shè)計(jì)55-59
• 3.3.1 收、放卷輥結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)55-57
• 3.3.2 收、放卷傳動(dòng)系統(tǒng)57-59
• 3.3.3 花鍵軸套的支承架設(shè)計(jì)59
• 3.4 不銹鋼帶驅(qū)動(dòng)部件設(shè)計(jì)59-60
• 3.5 其他結(jié)構(gòu)部件60-65
• 3.5.1 拋光液輸送裝置60-62
• 3.5.2 鋼帶清洗、干燥裝置62-64
• 3.5.3 張力調(diào)節(jié)輥設(shè)計(jì)64
• 3.5.4 機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)64-65
• 3.6 本章小結(jié)65-66
• 4 CMP拋光機(jī)的控制系統(tǒng)66-72
• 4.1 電機(jī)的轉(zhuǎn)速控制66-68
• 4.1.1 交流變頻調(diào)速技術(shù)66-67
• 4.1.2 變頻器選型及布置67-68
• 4.2 不銹鋼鋼帶的張力控制68-70
• 4.2.1 鋼帶卷取方式68
• 4.2.2 張力控制方法68-69
• 4.2.3 張力控制方案69-70
• 4.3 拋光液流量及扇形大小的控制70-71
• 4.3.1 流量控制70
• 4.3.2 噴射扇形大小的控制70-71
• 4.4 其他參數(shù)的控制71-72
• 4.4.1 風(fēng)幕風(fēng)速及溫度控制71
• 4.4.2 壓力控制71-72
• 4.6 本章小結(jié)72
• 5 結(jié)論與展望72-73
• 5.1 研究結(jié)論72-73
• 5.2 研究展望73
• 參考文獻(xiàn)73-78
• 致謝78-79
• 個(gè)人簡(jiǎn)歷79

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 王思刊;一種新型的卷繞恒張力控制系統(tǒng)[J];電子與自動(dòng)化;1997年06期

2 孫瑞均;;磁粉制動(dòng)器恒張力控制原理[J];有色金屬加工;1996年02期

  本文關(guān)鍵詞：超薄柔性顯示襯底R(shí)oll-to-Roll化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)研制，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號(hào)：375351