本文關鍵詞：基于光電檢測的IC綁定壓頭系統(tǒng)設計

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【摘要】：TFT-LCD制造技術,涉及半導體加工,集成電路整合等多種技術。TFT-LCD制造設備的穩(wěn)定性對提高產品品質、降低成本及提高生產率有較大影響。根據現(xiàn)有IC綁定壓頭調整平坦度方案,提出了改進方案,設計了壓頭的實時檢測系統(tǒng),對設計的壓頭系統(tǒng)進行了原理分析和實驗標定方案設計。實驗結果表明,自動調整平坦度壓頭系統(tǒng)能夠滿足應用要求。
【作者單位】： 合肥鑫晟光電科技有限公司;
【關鍵詞】： 光電檢測 IC綁定壓頭 平坦度檢測 壓頭結構設計
【分類號】：TN873.93
【正文快照】： 0引言在TFT-LCD制造模組Out Line Bonding工段,各項異性導電膠ACF的貼附設備、IC、COF、FPC及PCB的綁定設備中,綁定壓頭的平坦度對壓接的精度和壓接成功率有很大影響。如果壓頭平坦度不滿足要求,會產生IC斷裂、panel破片等問題,對綁定的產品品質、生產效率及成本的控制有較大

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