白光干涉法是一種具有亞納米級精度及毫米級測量范圍的方法,在顯微三維測量領(lǐng)域中具有不可替代的地位。現(xiàn)有的白光干涉儀在測量時需要通過手動調(diào)焦查找干涉條紋并設(shè)置掃描行程的上下限,費(fèi)時費(fèi)力,難以滿足工業(yè)生產(chǎn)中的自動化測量需求。針對這個問題,本文對自動對焦、背景建模、相移干涉等技術(shù)深入研究,提出了一種具有自動查找條紋、自動設(shè)定掃描行程功能的三維測量新方法。該方法包括一種基于四叉樹分塊的自動對焦技術(shù)用來獲取清晰的圖像,和一種基于Vi Be條紋辨識的規(guī)劃策略,以自動確定掃描干涉的行程。論文在相關(guān)算法研究的基礎(chǔ)上搭建了白光掃描干涉實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),開發(fā)了基于Hariharan相移法的三維形貌測量軟件,實(shí)現(xiàn)了三維形貌自動化精密測量,為白光干涉術(shù)在工業(yè)自動化檢測中的推廣應(yīng)用提供了技術(shù)支撐。本文的主要研究內(nèi)容概括如下:（1）深入調(diào)研超精密光學(xué)結(jié)構(gòu)表面形貌的測量方法,分析、比較這些方法的原理、結(jié)構(gòu)、和優(yōu)缺點(diǎn),并對國內(nèi)外白光干涉技術(shù)的研究現(xiàn)狀深入探討,針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,明確本文的研究方向和研究內(nèi)容。（2）深入分析白光的干涉特性和白光干涉的測量原理。為研究工作的展開,搭建白光掃描干涉實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),對相關(guān)硬件進(jìn)行選型,并對系... 

【文章頁數(shù)】：76 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

共聚焦掃描技術(shù)原理圖

結(jié)構(gòu)光投影技術(shù)原理圖

顯微干涉技術(shù)原理圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于ViBe的動態(tài)目標(biāo)檢測算法優(yōu)化[J]. 張榮剛,顧強(qiáng).  機(jī)械與電子. 2017(04)
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[4]大尺寸硅片邊緣拋光技術(shù)[J]. 李耀東,庫黎明,劉斌,王新,鄭琪,劉紅艷.  半導(dǎo)體技術(shù). 2016(11)
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[6]基于數(shù)字微鏡的并行激光共焦顯微檢測技術(shù)研究[J]. 涂龍,余錦,樊仲維,邱基斯,趙天卓,王治昊,吳權(quán),葛文琦,郭廣妍,王昊成.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2013(10)
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博士論文
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[3]微小三維尺寸自動光學(xué)檢測系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 劉斌.天津大學(xué) 2010

碩士論文
[1]白光垂直掃描干涉儀系統(tǒng)研究與設(shè)計(jì)[D]. 王亞敏.中國民航大學(xué) 2017
[2]白光垂直掃描干涉術(shù)快速掃描系統(tǒng)與方法研究[D]. 焦智超.中國民航大學(xué) 2016
[3]高質(zhì)量圖像獲取與處理技術(shù)研究[D]. 張栩銚.中國科學(xué)院研究生院(光電技術(shù)研究所) 2016
[4]面向?qū)崟r智能監(jiān)控的背景建模算法研究與系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D]. 汪東旭.浙江大學(xué) 2016
[5]基于白光干涉原理的MEMS三維表面形貌測量技術(shù)研究[D]. 申路.華南理工大學(xué) 2012
[6]基于GPGPU的快速白光干涉測量系統(tǒng)研究[D]. 王靜.浙江大學(xué) 2012
[7]基于顯微視覺導(dǎo)向的光掩模特征尺寸的精密測量與研究[D]. 陸毅華.華南理工大學(xué) 2010
[8]亞微米光刻質(zhì)量的控制技術(shù)研究[D]. 曹江田.電子科技大學(xué) 2010



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