某精密跟蹤系統(tǒng)的極限能力分析與控制策略研究
【圖文】:
[9],這樣,以取長(zhǎng)補(bǔ)短的方式對(duì)兩者的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行了融合,具有更廣泛的應(yīng)用價(jià)值。圖1.1 復(fù)合軸結(jié)構(gòu)圖快速反射鏡構(gòu)成的精密跟蹤系統(tǒng)主要采用音圈電機(jī)(VCA)和壓電陶瓷(PZT)。音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)器有很多優(yōu)點(diǎn),,如行程大、頻率響應(yīng)好和行程控制精確等。大部分快速反射鏡還配電渦流傳感器,以得到反射鏡位置。音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓比較低,同時(shí)可以控制反射鏡做大傾角運(yùn)動(dòng),但是諧振頻率較低,適用于大角度掃描。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的活動(dòng)范圍較小,但諧振頻率和控制精度高。與音圈電機(jī)相比,壓電陶瓷體積更小,所產(chǎn)生的作用力更大,頻率響應(yīng)有所提高。但其缺點(diǎn)也很明顯,即行程小,具有磁滯現(xiàn)象。壓電驅(qū)動(dòng)器適合于高頻率響應(yīng)、負(fù)載大、行程小的場(chǎng)合,音圈電機(jī)適合于行程大,負(fù)載小的場(chǎng)合[5]。國(guó)內(nèi)外都在大力開展快速控制反射鏡的研制[10-13]。其結(jié)構(gòu)形式主要分為兩軸一種是 X-Y 軸框架形式
中研發(fā)出了許多不同的高精度、高響應(yīng)速度的 FSM 系統(tǒng)產(chǎn)品,該產(chǎn)品在在中國(guó)市場(chǎng)乃至全球具有很大的占有率。圖1.2 德國(guó) PI 公司的壓電快速反射鏡 S-340以型號(hào)為 S-3401[19]的產(chǎn)品為例,如圖 1.2 所示,用于直徑高達(dá) 100mm(4 英寸)的反射鏡和光學(xué),分辨率高達(dá) 20urad,具有優(yōu)異的位置穩(wěn)定性,光束偏轉(zhuǎn)達(dá) 4mrad,亞微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,空載諧振達(dá) 900Hz,并且閉環(huán)版本可實(shí)現(xiàn)更佳的線性度。2005 年
【學(xué)位授予單位】:西安電子科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2018
【分類號(hào)】:TP273
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本文編號(hào):2703042
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