發(fā)布時間：2019-08-05 12:41

【摘要】：基于相位測量偏折術(shù)(PMD)測量原理,提出了一種簡單、可靠、精度高的三維面形檢測新方法,可以運用于非球面反射鏡精磨與粗拋光階段的面形檢測。所提檢測方法通過利用入射光線、小孔坐標(biāo),以及虛擬的輔助表面來得到待測反射鏡面的絕對高度和梯度。測量時,在CCD相機前放置一個小孔光闌來實現(xiàn)小孔成像模型,并以該小孔的位置作為相機的位置,同時利用相移法并通過移動LCD顯示屏一次,獲得攝像機上每個像素點所對應(yīng)的入射光線。該方法對實驗設(shè)備的位置無特殊要求,不需要輔助器件,檢測過程簡單,檢測結(jié)果可靠。而且,該檢測方法采用虛擬的輔助表面對反射鏡面進(jìn)行檢測而不是采用入射光線與反射光線的交點,不需要對相機光線進(jìn)行標(biāo)定,檢測結(jié)果受標(biāo)定誤差的影響很小,所以該檢測方法具有很高的檢測精度。計算機仿真與初步實驗驗證了該方法的可行性。
[Abstract]:Based on the principle of (PMD) measurement of phase measurement deflection, a new 3D profile detection method with simple, reliable and high precision is proposed, which can be applied to the surface shape detection in the stage of fine grinding and rough polishing of aspherical mirror. The absolute height and gradient of the mirror surface to be measured are obtained by using incident light, small hole coordinates and virtual auxiliary surface. In the measurement, a small aperture is placed in front of the CCD camera to realize the small hole imaging model, and the position of the hole is taken as the position of the camera. At the same time, the incident light corresponding to each pixel point on the camera is obtained by using the phase shift method and moving the LCD display screen once. This method has no special requirements for the position of the experimental equipment, does not need auxiliary devices, the detection process is simple, and the detection results are reliable. Moreover, the virtual auxiliary surface is used to detect the mirror surface instead of the intersection point between the incident light and the reflected light, and the camera light does not need to be calibrated. The detection results are little affected by the calibration error, so the detection method has high detection accuracy. The feasibility of the method is verified by computer simulation and preliminary experiments.
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所中國科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61036015)
【分類號】：TP391.41

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2523128