本文選題：質(zhì)量流量控制器 + 老化　； 參考：《北京工業(yè)大學(xué)》2016年碩士論文

【摘要】：質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,縮寫為MFC)自成功研發(fā)生產(chǎn)以來(lái),主要用于測(cè)量和控制氣體的質(zhì)量流量,其測(cè)量值不隨著壓力或溫度的波動(dòng)而失準(zhǔn)。目前,它已越來(lái)越多的被應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、燃料電池、真空等高精尖領(lǐng)域。隨著科技的不斷發(fā)展,特別是通信技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,許多新興行業(yè)都使用質(zhì)量流量控制器作為控制氣體的裝置,個(gè)別行業(yè)對(duì)氣體測(cè)量和控制的精準(zhǔn)度要求更是使其成為了核心零部件。隨著MFC的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,重要性不斷提升,用戶對(duì)其生產(chǎn)廠商的產(chǎn)品可靠性要求也與日俱增,在工業(yè)應(yīng)用中一旦發(fā)生故障,將造成一系列不良后果,因此,MFC生產(chǎn)廠商在產(chǎn)品出廠前對(duì)其進(jìn)行老化篩選以剔除產(chǎn)品的早期故障是非常必要的。本課題設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了一套基于LabVIEW(Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench)軟件平臺(tái)的質(zhì)量流量控制器老化控制檢測(cè)系統(tǒng),用于對(duì)MFC產(chǎn)品的部件進(jìn)行老化與檢測(cè),通過(guò)疲勞試驗(yàn)、加速老化與在線檢測(cè),剔除早期失效,從而大幅提高產(chǎn)品的可靠性。結(jié)合軟件控制方式,能夠幫助企業(yè)大幅提升老化篩選效率與判斷準(zhǔn)確性,降低人工成本。本文介紹了質(zhì)量流量控制器和虛擬儀器技術(shù)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀,以及MFC檢測(cè)設(shè)備的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀,分析了MFC的工作原理和失效機(jī)理,得出了本老化檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案和結(jié)構(gòu)模型。重點(diǎn)研究了使用虛擬儀器技術(shù)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)軟硬件的結(jié)合,利用LabVIEW平臺(tái)進(jìn)行系統(tǒng)上位機(jī)軟件開(kāi)發(fā),軟件采用模塊化設(shè)計(jì),包括采集模塊、控制模塊、顯示模塊和數(shù)據(jù)處理模塊,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)采集和分析數(shù)據(jù),多通道多信號(hào)同時(shí)發(fā)生,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制與在線檢測(cè),建立起了一個(gè)具備實(shí)時(shí)性、自動(dòng)化、高效率的老化監(jiān)控系統(tǒng)。文章最后是系統(tǒng)的應(yīng)用測(cè)試,給出了測(cè)試結(jié)論與有待改進(jìn)的地方。
[Abstract]:Mass Flow controller has been used to measure and control the mass flow rate of gas since it was successfully developed and produced, and its measurement value is not inaccurate with the fluctuation of pressure or temperature. At present, it has been more and more used in semiconductor, photovoltaic solar, fuel cells, vacuum and other sophisticated fields. With the development of science and technology, especially the development and application of communication technology, many new industries use mass flow controller as the device to control gas. The precision of gas measurement and control in individual industries makes it a core component. As the application of MFC is more and more extensive and the importance is increasing, the requirement of product reliability for its manufacturers is also increasing, once it breaks down in industrial application, it will cause a series of adverse consequences. Therefore, it is very necessary for MFC manufacturers to screen the products before they leave the factory to eliminate the early faults of the products. In this paper, a mass flow controller aging control system based on LabVIEW(Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench) software platform is designed and developed, which is used for the aging and detection of MFC components. Through fatigue tests, the aging and on-line testing are accelerated. Eliminate early failures, thereby greatly improving the reliability of the product. Combined with software control, it can greatly improve the efficiency and accuracy of aging screening and reduce labor cost. This paper introduces the research status of mass flow controller and virtual instrument technology at home and abroad, and the research status of MFC detection equipment at home and abroad. The working principle and failure mechanism of MFC are analyzed. The design scheme and structure model of the aging detection system are obtained. The combination of software and hardware using virtual instrument technology is studied emphatically. The software is developed by using LabVIEW platform. The software is designed by modularization, including acquisition module, control module, display module and data processing module. It can automatically collect and analyze data, multi-channel and multi-signal occur simultaneously, realize automatic control and on-line detection, and set up an aging monitoring system with real-time, automation and high efficiency. At the end of the paper, the application test of the system is given, and the test conclusion and the place to be improved are given.
【學(xué)位授予單位】：北京工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TP311.52

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