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機(jī)器視覺(jué)精密測(cè)量中的顯微光學(xué)聚焦

發(fā)布時(shí)間:2018-03-19 12:23

  本文選題:機(jī)器視覺(jué) 切入點(diǎn):顯微成像 出處:《光學(xué)精密工程》2016年09期  論文類(lèi)型:期刊論文


【摘要】:考慮顯微光學(xué)涉及的聚焦精度對(duì)機(jī)器視覺(jué)精密測(cè)量效果的影響,開(kāi)展了顯微視覺(jué)環(huán)境下對(duì)圖像聚焦技術(shù)綜合定量評(píng)價(jià)的研究。建立了偏移率等系列性能指標(biāo),對(duì)13組清晰度函數(shù)在顯微視覺(jué)條件下的無(wú)偏性、單峰性、分辨力等進(jìn)行了綜合評(píng)價(jià),優(yōu)選出方差函數(shù)和Brenner函數(shù)分別用于粗聚焦和精聚焦階段的清晰度計(jì)算。建立了分步爬山搜索法,實(shí)現(xiàn)了顯微自動(dòng)聚焦。與傳統(tǒng)爬山法相比,提出的方法聚焦時(shí)間顯著縮短,重復(fù)精度提高約24%。將建立的自動(dòng)聚焦與圖像測(cè)量方法應(yīng)用于某電液伺服閥銜鐵氣隙測(cè)量中,得到的測(cè)量均值與工具顯微鏡結(jié)果相近,而測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)差可達(dá)1.9μm,測(cè)量效率也顯著提高。最后對(duì)伺服閥加電條件下的氣隙動(dòng)力學(xué)特性進(jìn)行了測(cè)試,獲得了驅(qū)動(dòng)電流-銜鐵氣隙之間的關(guān)系,為在線(xiàn)裝配/裝調(diào)提供了重要依據(jù)。
[Abstract]:Considering the effect of focusing precision involved in microscopic optics on the precision measurement effect of machine vision, the comprehensive quantitative evaluation of image focusing technology is studied in the environment of microscopic vision, and a series of performance indexes, such as offset ratio, are established. The unbias, single peak and resolution of 13 groups of definition functions under microscopic vision were evaluated. The variance function and Brenner function are selected to calculate the sharpness of coarse focus and fine focus, respectively. A step by step mountain climbing search method is established to realize microscopic auto-focusing. Compared with the traditional hill climbing method, the focus time of the proposed method is significantly shortened. The automatic focusing and image measurement method has been applied to the measurement of the armature air gap of an electro-hydraulic servo valve. The mean value of the measurement is similar to that of the tool microscope. The measurement standard deviation can reach 1.9 渭 m, and the measurement efficiency is also improved significantly. Finally, the dynamic characteristics of the air gap under the condition of the servo valve charging are tested, and the relationship between the driving current and the air gap of the armature is obtained. It provides an important basis for online assembly / assembly.
【作者單位】: 大連理工大學(xué)微納米技術(shù)及系統(tǒng)遼寧省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】:國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)基金資助項(xiàng)目(No.2013ZX04001091)
【分類(lèi)號(hào)】:TP391.41

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本文編號(hào):1634252

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