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熱電耦合場(chǎng)中壓電粘彈性微梁的靜力坍塌分析

發(fā)布時(shí)間:2017-12-15 07:30

  本文關(guān)鍵詞:熱電耦合場(chǎng)中壓電粘彈性微梁的靜力坍塌分析


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【摘要】:基于粘彈性理論、歐拉-伯努利梁理論以及壓電理論,在考慮微結(jié)構(gòu)蠕變現(xiàn)象的情況下,建立了熱電耦合場(chǎng)中壓電粘彈性微梁的靜力坍塌模型及控制方程,研究了壓電粘彈性微梁的靜力坍塌臨界條件,計(jì)算和分析了壓電層控制電壓和溫度等參數(shù)對(duì)微梁結(jié)構(gòu)靜力坍塌的影響。研究結(jié)果表明:持久坍塌電壓可作為壓電粘彈性微梁靜力坍塌失穩(wěn)的臨界條件,并且溫度和壓電層控制電壓均會(huì)對(duì)坍塌失穩(wěn)的臨界值造成影響。該文的研究可為MEMS中梁式微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與優(yōu)化提供理論參考。
【作者單位】: 廈門(mén)理工學(xué)院土木工程與建筑學(xué)院;
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11272270)
【分類號(hào)】:O345
【正文快照】: 梁式微結(jié)構(gòu)以其簡(jiǎn)單而高效的結(jié)構(gòu)形式而常見(jiàn)于MEMS系統(tǒng)。作為梁式微結(jié)構(gòu)的一種,壓電微梁的基體表面附著的壓電層實(shí)現(xiàn)了微梁結(jié)構(gòu)的多功能化,這是由于壓電材料具有壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng),能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械能和靜電能的雙向、線性且可靠的轉(zhuǎn)化[1],通過(guò)將壓電薄膜鍵合于微梁基體的單側(cè)

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本文編號(hào):1291125

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