本文關(guān)鍵詞：基于PDMS的壓電驅(qū)動式系列微型泵

  更多相關(guān)文章： 壓電 微型泵 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 微流控芯片

【摘要】：為進一步拓展壓電微泵的應(yīng)用領(lǐng)域,以利于更好地將其集成于微流控芯片中,該文對以固態(tài)聚二甲基硅氧烷(PDMS)為泵體材料的壓電微泵開展相關(guān)實驗研究。通過合理設(shè)計壓電振子的支承方式、閥片結(jié)構(gòu)以及采用兩腔串、并聯(lián)結(jié)構(gòu)等措施以提高壓電微泵的工作性能。分別以PDMS和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)為泵體材料設(shè)計制作了單腔微泵、雙腔串、并聯(lián)微泵,并對其工作性能進行對比性實驗測試。實驗證明,構(gòu)造具有較好工作性能的PDMS壓電微泵具有可行性,在電壓90 V,頻率80 Hz的情況下,PDMS雙腔串聯(lián)泵的輸出流量達到21mL/min,輸出壓力達到10kPa。但與PMMA為泵體材料的壓電微泵相比,PDMS壓電微泵在流量、壓力方面仍有近30%的差距。
【作者單位】： 吉林大學(xué)機械科學(xué)與工程學(xué)院;長春工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 壓電 微型泵 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 微流控芯片
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51375207)
【分類號】：TH38
【正文快照】： 0引言壓電微泵(簡稱壓電泵)是一種利用逆壓電效應(yīng)驅(qū)動介質(zhì)的新型往復(fù)式容積泵,具有體積小,響應(yīng)快,無電磁干擾,輸出精度高及易控制等特征[1],是微機械流體系統(tǒng)中的重要執(zhí)行部件。國內(nèi)外有關(guān)學(xué)者對其進行了大量的理論和實驗研究,并取得了較大的進展。壓電泵的研究和應(yīng)用主要有兩

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本文編號：799760