本文關(guān)鍵詞：利用體塊PZT制備膜片式壓電微泵

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【摘要】：利用鋯鈦酸鉛(PZT)的逆壓電效應(yīng),設(shè)計(jì)并制備了膜片式壓電微泵。通過將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能,實(shí)現(xiàn)了液體的微流體控制。微泵由微驅(qū)動(dòng)器與單向微閥兩部分組成;微驅(qū)動(dòng)器主要為液體流動(dòng)提供驅(qū)動(dòng)力,單向微閥則用于精確控制液體的流動(dòng)方向。通過對(duì)PZT-Si膜片的位移量、位移形狀的仿真分析,確定了微驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)尺寸,并估算其液體驅(qū)動(dòng)性能。利用共晶鍵合工藝、研磨減薄工藝、硅深反應(yīng)離子刻蝕工藝和準(zhǔn)分子激光加工工藝等制備出了微驅(qū)動(dòng)器和單向微閥。最后,設(shè)計(jì)了驅(qū)動(dòng)測試實(shí)驗(yàn),檢測了微泵的液體驅(qū)動(dòng)性能。測試結(jié)果表明:所制備的膜片式壓電微泵驅(qū)動(dòng)的諧振頻率約為70kHz,能驅(qū)動(dòng)微米量級(jí)的液體位移或運(yùn)動(dòng)。當(dāng)微泵驅(qū)動(dòng)電壓為30Vp-p、頻率為600Hz時(shí),液體的驅(qū)動(dòng)流速約為65μL/min。該微泵具有體積小,線性度好等特點(diǎn)。
【作者單位】： 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)理學(xué)院;立命館大學(xué)微系統(tǒng)系;
【關(guān)鍵詞】： 微流控分析系統(tǒng) 膜片式壓電微泵 鋯鈦酸鉛(PZT) 單向微閥 逆壓電效應(yīng) 驅(qū)動(dòng)仿真 微加工工藝
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助課題(No.60777016) 上海聯(lián)盟計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.LM201441) 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院重點(diǎn)學(xué)科項(xiàng)目(No.10210Q150005);上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院人才引進(jìn)基金資助項(xiàng)目(No.YJ2014-03)
【分類號(hào)】：TH38
【正文快照】： 2.立命館大學(xué)微系統(tǒng)系,京都525-8577日本)1引言近年來,微反應(yīng)器、微流控分析芯片等一直在積極推動(dòng)著醫(yī)療微流體系統(tǒng)的發(fā)展。其中,微流控分析芯片是最大限度地將采樣、稀釋、加試劑、反應(yīng)、分離、檢測等分析功能集成為一體的微型全分析系統(tǒng)(μ-TAS),成為新世紀(jì)分析科學(xué)、微機(jī)電

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1 楊勝林;張露;楊濤;趙三星;;負(fù)壓泵工作狀況下泵膜片力學(xué)性能研究[J];機(jī)械工程師;2014年01期

2 嚴(yán)仁興;黃忠華;;氣體減壓器膜片有效面積探討[J];閥門;2007年02期

3 ;[J];;年期

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本文編號(hào)：776186