本文關鍵詞：利用體塊PZT制備膜片式壓電微泵

  更多相關文章： 微流控分析系統(tǒng) 膜片式壓電微泵 鋯鈦酸鉛(PZT) 單向微閥 逆壓電效應 驅動仿真 微加工工藝

【摘要】：利用鋯鈦酸鉛(PZT)的逆壓電效應,設計并制備了膜片式壓電微泵。通過將電能轉換為機械能,實現(xiàn)了液體的微流體控制。微泵由微驅動器與單向微閥兩部分組成;微驅動器主要為液體流動提供驅動力,單向微閥則用于精確控制液體的流動方向。通過對PZT-Si膜片的位移量、位移形狀的仿真分析,確定了微驅動器的設計尺寸,并估算其液體驅動性能。利用共晶鍵合工藝、研磨減薄工藝、硅深反應離子刻蝕工藝和準分子激光加工工藝等制備出了微驅動器和單向微閥。最后,設計了驅動測試實驗,檢測了微泵的液體驅動性能。測試結果表明:所制備的膜片式壓電微泵驅動的諧振頻率約為70kHz,能驅動微米量級的液體位移或運動。當微泵驅動電壓為30Vp-p、頻率為600Hz時,液體的驅動流速約為65μL/min。該微泵具有體積小,線性度好等特點。
【作者單位】： 上海應用技術大學理學院;立命館大學微系統(tǒng)系;
【關鍵詞】： 微流控分析系統(tǒng) 膜片式壓電微泵 鋯鈦酸鉛(PZT) 單向微閥 逆壓電效應 驅動仿真 微加工工藝
【基金】：國家自然科學基金資助課題(No.60777016) 上海聯(lián)盟計劃資助項目(No.LM201441) 上海應用技術學院重點學科項目(No.10210Q150005);上海應用技術學院人才引進基金資助項目(No.YJ2014-03)
【分類號】：TH38
【正文快照】： 2.立命館大學微系統(tǒng)系,京都525-8577日本)1引言近年來,微反應器、微流控分析芯片等一直在積極推動著醫(yī)療微流體系統(tǒng)的發(fā)展。其中,微流控分析芯片是最大限度地將采樣、稀釋、加試劑、反應、分離、檢測等分析功能集成為一體的微型全分析系統(tǒng)(μ-TAS),成為新世紀分析科學、微機電

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 楊勝林;張露;楊濤;趙三星;;負壓泵工作狀況下泵膜片力學性能研究[J];機械工程師;2014年01期

2 嚴仁興;黃忠華;;氣體減壓器膜片有效面積探討[J];閥門;2007年02期

3 ;[J];;年期

，

本文編號：776186