發(fā)布時間：2017-08-23 07:03

  本文關(guān)鍵詞：聚焦離子束致形變微納加工研究進(jìn)展

  更多相關(guān)文章： 聚焦離子束應(yīng)力引入致形變 聚焦離子束物質(zhì)再分布致形變 微/納功能結(jié)構(gòu)加工

【摘要】：聚焦離子束技術(shù)(focused ion beam,FIB)由于其高精度刻蝕、定點加工、實時成像等優(yōu)勢,常用于精密加工、TEM制樣等領(lǐng)域。其工作機理通常為:刻蝕、淀積與成像。而基于FIB新的加工手段正在被探索和研究,其中就包括兩種聚焦離子束致形變技術(shù),分別為聚焦離子束應(yīng)力引入致形變技術(shù)(FIB-stress induced deformation,FIBSID)和聚焦離子束物質(zhì)再分布致形變技術(shù)(FIB-material-redistribution induced deformation,FIB-MRD)。前者通過控制FIB輻照時離子注入與濺射之間的競爭關(guān)系實現(xiàn)懸臂梁的多角度彎曲,后者利用粒子與物質(zhì)作用時的瑞利不穩(wěn)定性構(gòu)建納米結(jié)構(gòu),在一定意義上擴充了聚焦離子束的應(yīng)用范圍。運用上述方法可以加工三維微納螺旋,懸浮光滑納米弦以及大規(guī)模陣列化納米網(wǎng)孔等多樣化微/納功能構(gòu)件,在微流控系統(tǒng),太赫茲通信,光學(xué)天線等領(lǐng)域具有很強的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 北京大學(xué)微米/納米加工技術(shù)國家重點實驗室;北京大學(xué)電子顯微鏡實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 聚焦離子束應(yīng)力引入致形變 聚焦離子束物質(zhì)再分布致形變 微/納功能結(jié)構(gòu)加工
【基金】：國家級先進(jìn)制造預(yù)研項目 國家自然科學(xué)基金資助項目(No.50775001) 國家“863計劃”專題課題(No.2009 AA01Z228)
【分類號】：TH16
【正文快照】：

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 徐宗偉;房豐洲;張少婧;陳耘輝;;基于聚焦離子束注入的微納加工技術(shù)研究[J];電子顯微學(xué)報;2009年01期

2 王榕;楊文言;;聚焦離子束掃描電鏡雙束系統(tǒng)在材料研究中的應(yīng)用[J];分析儀器;2014年01期

3 馬向國;劉同娟;顧文琪;;聚焦離子束技術(shù)及其在微納加工技術(shù)中的應(yīng)用[J];真空;2007年06期

4 ;制造半導(dǎo)體元件的新設(shè)備——聚焦離子束系統(tǒng)[J];真空與低溫;1985年03期

5 劉小平,陳虹,張化一,王克禮;聚焦離子束微細(xì)加工技術(shù)實驗研究[J];真空科學(xué)與技術(shù);1988年01期

6 董雷,王克禮,張化一;微機控制聚焦離子束掃描裝置的研制與實驗[J];真空科學(xué)與技術(shù);1989年03期

7 汪健如,應(yīng)根裕,杜秉初,汪榮軍;聚焦離子束系統(tǒng)的研制[J];清華大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);1997年10期

8 榮烈潤;;聚焦離子束加工技術(shù)及其應(yīng)用[J];金屬加工(冷加工);2013年23期

9 王克禮,張化一;液態(tài)金屬離子源與聚焦離子束的研制進(jìn)展[J];清華大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);1987年06期

10 王學(xué)超,汪健如,汪榮軍;亞微米聚焦離子束的像散檢測與校正技術(shù)[J];真空科學(xué)與技術(shù);1997年06期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 朱建國;謝惠民;;基于環(huán)芯法和聚焦離子束技術(shù)的微觀殘余應(yīng)力測試技術(shù)及其應(yīng)用[A];中國力學(xué)大會——2013論文摘要集[C];2013年

2 金愛子;陳雷明;崔錚;;聚焦離子束雙束系統(tǒng)在材料科學(xué)與技術(shù)中的應(yīng)用[A];科技、工程與經(jīng)濟社會協(xié)調(diào)發(fā)展——中國科協(xié)第五屆青年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2004年

3 馬向國;顧文琪;;納米聚焦離子束系統(tǒng)液態(tài)金屬離子源的研制[A];中國微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會年會論文集（一）[C];2005年

4 唐雷鈞;謝進(jìn);陳一;鄭國祥;宗祥福;;聚焦離子束(FIB)的透射電鏡制樣[A];第十一次全國電子顯微學(xué)會議論文集[C];2000年

5 周偉敏;徐南華;;聚焦離子束(FIB)快速制備透射電鏡樣品[A];第十三屆全國電子顯微學(xué)會議論文集[C];2004年

6 姜巖峰;張曉波;;聚焦離子束寫入技術(shù)對MEMS失效構(gòu)件的修復(fù)[A];中國微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會年會論文集（一）[C];2005年

7 章曉文;林曉玲;陳嬡;;FIB的工作原理及其應(yīng)用[A];2009第十三屆全國可靠性物理學(xué)術(shù)討論會論文集[C];2009年

8 黃慶;劉鵬;王晨;王雪林;徐雪峰;顏莎;;聚焦離子束在LiNbO_3及KTP等晶體上的亞微米刻蝕研究[A];2008年全國荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會議暨中國電工技術(shù)學(xué)會第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會、中國電子學(xué)會焊接專業(yè)委員會第九屆全國電子束焊接學(xué)術(shù)交流會、粒子加速器學(xué)會第十一屆全國離子源學(xué)術(shù)交流會、中國機械工程學(xué)會焊接分會2008年全國高能束加工技術(shù)研討會、北京電機工程學(xué)會第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2008年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 張少婧;基于聚焦離子束技術(shù)的微刀具制造方法及關(guān)鍵技術(shù)的研究[D];天津大學(xué);2009年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 徐星亮;聚焦離子束刻蝕誘導(dǎo)液滴形成及其遷移[D];電子科技大學(xué);2014年

2 陳強;聚焦離子束在集成電路失效分析中的應(yīng)用和實例分析[D];上海交通大學(xué);2007年

3 王貞;對TEM原理及應(yīng)用的研究[D];天津大學(xué);2009年

，

本文編號：723618