本文關(guān)鍵詞：發(fā)展中的RF MEMS開關(guān)技術(shù)

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【摘要】：射頻MEMS開關(guān)是用MEMS技術(shù)形成的新的電路元件,與傳統(tǒng)的半導體開關(guān)器件相比具有插入損耗低、隔離度大、線性度好等優(yōu)點,將對現(xiàn)有雷達和通信中RF結(jié)構(gòu)產(chǎn)生重大的影響。介紹了射頻MEMS開關(guān)的工作原理、優(yōu)化設(shè)計,分析了可靠性問題,舉例說明了射頻MEMS開關(guān)的應用,指出了其發(fā)展所面臨的問題。
【作者單位】： 上海交通大學微納米科學技術(shù)研究院 上海交通大學微納米科學技術(shù)研究院 上海交通大學微納米科學技術(shù)研究院 上海交通大學微納米科學技術(shù)研究院
【關(guān)鍵詞】： 射頻開關(guān) MEMS技術(shù) 高頻電路
【基金】：信息產(chǎn)業(yè)部微電子技術(shù)項目(41308050116)
【分類號】：TM564
【正文快照】： 1引言微電子技術(shù)的強大生命力在于它不斷地與其他領(lǐng)域的技術(shù)相結(jié)合,以開發(fā)新的功能和新的應用領(lǐng)域。隨著微電子技術(shù)的深入發(fā)展,近年來興起的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)與DNA生物芯片技術(shù),是微電子技術(shù)的革命性突破,顯示了微電子技術(shù)新的發(fā)展趨勢。MEMS是微電子技術(shù)與機械、光

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本文編號：638692