本文關(guān)鍵詞：基于平面柔順機(jī)構(gòu)的θ_xθ_yZ微動(dòng)臺(tái)靜力學(xué)分析及優(yōu)化設(shè)計(jì)

  更多相關(guān)文章： 柔性鉸鏈 θxθyZ微動(dòng)臺(tái) 靜力學(xué) 尺寸優(yōu)化

【摘要】：設(shè)計(jì)了基于平面柔順機(jī)構(gòu)的θ_xθ_yZ微動(dòng)臺(tái).只考慮平面柔順機(jī)構(gòu)的平面內(nèi)變形建立其靜力學(xué)分析過程,對(duì)各支腿對(duì)動(dòng)平臺(tái)的作用進(jìn)行獨(dú)立分析.通過卡氏位移定理求得輸入輸出之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系,并建立了平面支腿位移放大比與結(jié)構(gòu)尺寸的直接關(guān)系,基于遺傳算法進(jìn)行了結(jié)構(gòu)尺寸優(yōu)化.最后完成了樣機(jī)有限元分析及實(shí)驗(yàn)研究,結(jié)果驗(yàn)證了分析及優(yōu)化方法的可靠性,理論模型與有限元仿真及實(shí)驗(yàn)結(jié)果的誤差分別小于4%和12%.
【作者單位】： 中國(guó)礦業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 柔性鉸鏈 θxθyZ微動(dòng)臺(tái) 靜力學(xué) 尺寸優(yōu)化
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51305444) 江蘇省“六大人才高峰”計(jì)劃(ZBZZ-041) 江蘇高校研究生科研創(chuàng)新計(jì)劃(KYLX15 1421) 江蘇高校優(yōu)勢(shì)學(xué)科建設(shè)工程(PAPD)
【分類號(hào)】：TH112
【正文快照】： 1引言(Introduction)近年來,精密微動(dòng)機(jī)械快速發(fā)展成為精密工程中的關(guān)鍵技術(shù)之一,在光刻、掃描隧道電子顯微鏡、微裝配及生物操作等高新領(lǐng)域得到應(yīng)用[1-2].為了實(shí)現(xiàn)微納尺度的精度,柔順機(jī)構(gòu)被廣泛使用,用柔性鉸鏈代替?zhèn)鹘y(tǒng)運(yùn)動(dòng)副可實(shí)現(xiàn)無間隙無摩擦傳動(dòng)[3].隨著應(yīng)用需求增加,空

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本文編號(hào)：579207