本文關(guān)鍵詞：音叉式全解耦微機電陀螺的設(shè)計與仿真，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：文中對嚴(yán)重影響微機電陀螺(簡稱微陀螺)靈敏度的機械耦合誤差進行深層研究和分析,提出并設(shè)計了一種基于體硅制造的新型全解耦音叉式微陀螺儀。為實現(xiàn)新型微陀螺的驅(qū)動和檢測模態(tài)完全解耦,在一定的帶寬下保持較高的檢測靈敏度,采用了新型敏感檢測梁和對稱的音叉式結(jié)構(gòu)。根據(jù)微陀螺儀的實體模型建立了其動力學(xué)模型,應(yīng)用兩種空氣阻尼模型對檢測阻尼特性進行了研究和計算。通過多種固有模態(tài)的匹配仿真試驗和諧響應(yīng)分析,確定了新型微陀螺的檢測方式和彈性梁結(jié)構(gòu)參數(shù)。仿真結(jié)果顯示,該新型陀螺實現(xiàn)了驅(qū)動和檢測方向的完全獨立,顯著減小了機械耦合誤差。
【作者單位】： 燕山大學(xué)機械工程學(xué)院;徐州重工集團;北京機床研究所;
【關(guān)鍵詞】： 微機電陀螺 完全解耦 滑膜阻尼 梳齒電容 模態(tài)仿真
【分類號】：TH-39
【正文快照】： 2.北京機床研究所,北京101312;3.徐州重工集團,江蘇徐州221004)微機電陀螺(簡稱微陀螺)是MEMS技術(shù)與陀螺技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)品,它以高頻微振幅部件替代高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子,具有高集成、高精度、高可靠性、低成本、適應(yīng)面廣等優(yōu)勢。近年來,為解決微陀螺的耦合誤差,國內(nèi)外已作了大量研究

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本文編號：466501