干摩擦條件下基體粗糙度對(duì)Cr-DLC薄膜摩擦磨損性能的影響
本文關(guān)鍵詞:干摩擦條件下基體粗糙度對(duì)Cr-DLC薄膜摩擦磨損性能的影響,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
【摘要】:采用磁控濺射/等離子輔助氣相沉積方法在不同粗糙度樣品表面制備Cr摻雜類金剛石(Cr-DLC)薄膜,研究了干摩擦條件下,基體粗糙度對(duì)Cr摻雜類金剛石薄膜摩擦磨損性能的影響.結(jié)果表明:在低表面粗糙度樣品上體現(xiàn)了Cr摻雜類金剛石薄膜良好的自潤(rùn)滑特性,平均摩擦系數(shù)在0.1以下,達(dá)到了油潤(rùn)滑條件的摩擦水平,磨損較小,磨損表面薄膜結(jié)構(gòu)完整,未出現(xiàn)明顯石墨化轉(zhuǎn)變.在高表面粗糙度樣品上,樣品的平均摩擦系數(shù)提高了3~4倍,磨損劇烈,基體表面磨出了明顯的溝槽,與其對(duì)摩的Si_3N_4球磨損嚴(yán)重.
【作者單位】: 中國(guó)農(nóng)業(yè)機(jī)械化科學(xué)研究院;北京金輪坤天特種機(jī)械有限公司;
【關(guān)鍵詞】: 磁控濺射/等離子輔助氣相沉積 不同基體粗糙度 干摩擦 Cr摻雜類金剛石薄膜 摩擦磨損性能
【分類號(hào)】:TB383.2;TH117.1
【正文快照】: 類金剛石薄膜(DLC)是介于金剛石和石墨之間含有sp3和sp2雜化鍵的亞穩(wěn)態(tài)薄膜,其有很多表現(xiàn)形式包括非晶態(tài)薄膜,硬質(zhì)碳薄膜等[1].類金剛石薄膜具有很多與金剛石薄膜相似的優(yōu)異性能,如高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨損、抗劃傷性、耐腐蝕性、抗粘連性、高化學(xué)穩(wěn)定性、良好的光學(xué)透過性
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本文編號(hào):462685
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