本文關(guān)鍵詞：微機(jī)械應(yīng)力測試結(jié)構(gòu)的溫度特性和應(yīng)力抑制方法，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：研究了典型微機(jī)械應(yīng)力測試結(jié)構(gòu)的溫度特性及從源頭上抑制熱應(yīng)力的方法。設(shè)計(jì)了一種可以代表微機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)器件溫度特性的應(yīng)力測試結(jié)構(gòu),并分析了溫度對(duì)其固有頻率的影響機(jī)理。指出了與材料彈性模量、結(jié)構(gòu)尺寸變化相比,軸向應(yīng)力是影響該結(jié)構(gòu)固有頻率溫度穩(wěn)定性的主要因素,同時(shí)設(shè)計(jì)了一種可以釋放熱應(yīng)力以及加工殘余應(yīng)力的應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)�？紤]硅的線膨脹系數(shù)隨溫度變化的特性,通過建模仿真和實(shí)驗(yàn)測試獲得了應(yīng)力測試結(jié)構(gòu)、應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)的軸向應(yīng)力以及固有頻率的溫度特性。結(jié)果表明:在-50℃~+85℃,應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)將軸向熱應(yīng)力抑制到了應(yīng)力測試結(jié)構(gòu)的2個(gè)數(shù)量級(jí)以下,固有頻率-溫度系數(shù)由5.0×10~(-3)ppm/℃左右降到了5.0×10~(-5)ppm/℃以下。結(jié)果顯示:設(shè)計(jì)的應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)具有非常良好的應(yīng)力隔離效果,從源頭上抑制了主要的溫度影響因素引入整個(gè)微機(jī)械系統(tǒng),可以應(yīng)用于其它MEMS結(jié)構(gòu)以獲得良好的溫度穩(wěn)定性。
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系導(dǎo)航工程中心;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)械系統(tǒng) 應(yīng)力測試結(jié)構(gòu) 應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu) 溫度特性 熱應(yīng)力
【基金】：總裝備部預(yù)先研究資金資助項(xiàng)目(No.20114113013)
【分類號(hào)】：TH703;TH-39
【正文快照】： 1引言MEMS技術(shù)自二十世紀(jì)八十年代開始受到廣泛重視并迅速發(fā)展。MEMS器件具有成本低、體積小、能耗低等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用移動(dòng)終端、汽車電子、醫(yī)療生物、物聯(lián)網(wǎng)等民用領(lǐng)域,且在軍事領(lǐng)域也具有廣闊的應(yīng)用前景。目前影響MEMS器件實(shí)際應(yīng)用的主要瓶頸之一是其性能指標(biāo),例如慣性傳感

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2 萬正喜;肖熳;周勁松;潘小毛;;斗輪堆取料機(jī)主動(dòng)臺(tái)車架應(yīng)力測試與設(shè)計(jì)[J];起重運(yùn)輸機(jī)械;2012年03期

3 周新光;王育梅;焦志斌;;自制動(dòng)臂桅桿起吊應(yīng)力測試與分析[J];機(jī)械研究與應(yīng)用;2009年02期

4 連晉華;;核電站大型吊具應(yīng)力測試分析[J];科技創(chuàng)新與生產(chǎn)力;2010年12期

5 李天俠;王樹青;王為東;;20000t橋式起重機(jī)吊裝應(yīng)力測試與分析[J];起重運(yùn)輸機(jī)械;2011年05期

6 吳波;左一凡;潘巖;;應(yīng)力測試技術(shù)在橋式起重機(jī)上的應(yīng)用[J];品牌與標(biāo)準(zhǔn)化;2012年16期

7 ;[J];;年期

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