隨著MEMS的發(fā)展，微型泵市場需求量和品種越來越多，其結(jié)構(gòu)也日趨復(fù)雜，傳統(tǒng)的經(jīng)驗設(shè)計方法已難以滿足高效率、高質(zhì)量微型泵設(shè)計的要求，利用CAD＼CAE技術(shù)進行微型泵設(shè)計和分析已成為一種必然趨勢。然而，當(dāng)前MEMS CAD設(shè)計的系統(tǒng)理論知識還未形成，相應(yīng)的工具發(fā)展水平遠遠滯后于產(chǎn)品開發(fā)的步伐。為此，本文主要對微型泵優(yōu)化設(shè)計的系統(tǒng)理論方法進行綜合分析和研究，并對相應(yīng)的原型系統(tǒng)軟件進行開發(fā)研究和應(yīng)用示范驗證。 本文的研究內(nèi)容和成果主要有： （1） 在現(xiàn)有MEMS正反向設(shè)計方法的基礎(chǔ)上，提出了一種結(jié)合有限元數(shù)值模擬分析和非線性回歸分析的微型泵綜合優(yōu)化設(shè)計方法。 （2） 根據(jù)提出的微型泵綜合優(yōu)化設(shè)計方法，以熱驅(qū)動微型泵為實例，進行了綜合優(yōu)化設(shè)計應(yīng)用示范研究和驗證，主要包括：1) 熱驅(qū)動微型泵有限元模型建立、求解、結(jié)果分析驗證，并將已驗證的模擬分析過程開發(fā)成參數(shù)化程序（MAPDL），用于重復(fù)模擬分析使用；2) 設(shè)計大量不同參數(shù)的熱驅(qū)動微型泵實例，并利用所開發(fā)的MAPDL程序，對不同參數(shù)的實例進行模擬分析，獲取優(yōu)化設(shè)計所需的大量數(shù)據(jù)；3) 采用非線性逐步回歸分析方法對熱驅(qū)動微型泵綜合... 

【文章來源】：西安科技大學(xué)陜西省

【文章頁數(shù)】：75 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

MEMS反向設(shè)計流程

幫助模塊

徽型泵回歸數(shù)據(jù)

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3493043