對(duì)采用硅流體芯片的氣動(dòng)位置控制系統(tǒng)進(jìn)行了建模、實(shí)驗(yàn)及仿真研究。在采用增量式PID控制的條件下,通過實(shí)驗(yàn)得到了系統(tǒng)對(duì)階躍信號(hào)、三角波信號(hào)及正弦波信號(hào)的輸出特性曲線,并分析了氣源壓力變化對(duì)控制系統(tǒng)輸入輸出特性影響較大的原因。當(dāng)氣源壓力為0.7 MPa時(shí),系統(tǒng)階躍響應(yīng)控制精度最高,進(jìn)入穩(wěn)態(tài)后誤差小于0.077 mm。當(dāng)氣源壓力為0.2 MPa時(shí),系統(tǒng)對(duì)2 Hz的正弦信號(hào)可以較好的跟隨。利用AMESim軟件對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了仿真研究,仿真結(jié)果表明,增加芯片個(gè)數(shù)可以減小階躍響應(yīng)的上升及下降時(shí)間,對(duì)滯回特性也有一定的改善。 

【文章來源】：液壓與氣動(dòng). 2020,(06)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：8 頁(yè)

【部分圖文】：

芯片等效原理圖

圖3 雙芯片結(jié)構(gòu)比例閥實(shí)物圖

圖4 雙芯片結(jié)構(gòu)比例閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3310654