本文關(guān)鍵詞：高精度定位平臺(tái)熱誤差及剛度建模方法研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：近年來，高精度定位平臺(tái)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、MEMS、生物芯片、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，隨著精密加工技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)精密定位技術(shù)有了更高的要求。溫度和振動(dòng)是影響定位平臺(tái)定位精度的主要因素，為進(jìn)一步提高定位平臺(tái)的精度，，減小或消除熱誤差及定位平臺(tái)的振動(dòng)已經(jīng)引起各國(guó)研究者的廣泛關(guān)注。本課題在研究了國(guó)內(nèi)外學(xué)者對(duì)建立熱誤差及剛度模型的基礎(chǔ)上，對(duì)高精度定位平臺(tái)的熱誤差模型及剛度模型的建立進(jìn)行了研究。具體包括以下研究?jī)?nèi)容： 基于熱學(xué)基本定律，確定了定位平臺(tái)的主要熱源及傳熱方式，采用有限元仿真方法對(duì)定位平臺(tái)進(jìn)行熱及剛度分析，確定定位平臺(tái)在受熱條件下的熱變形及剛度分布情況。為確保熱誤差模型的準(zhǔn)確性，溫度測(cè)點(diǎn)的優(yōu)化選擇很重要，利用灰色關(guān)聯(lián)度的理論，求解出定位平臺(tái)表面上溫度變化與位移變化關(guān)聯(lián)度較大的點(diǎn)作為溫度測(cè)點(diǎn)。 針對(duì)高精度定位平臺(tái)熱誤差建模問題，將關(guān)鍵溫度測(cè)點(diǎn)的溫度值作為建模的輸入值，分別采用多元線性回歸建模法、BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建模法及RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建模法，建立平臺(tái)的熱誤差模型，通過比較模型擬合的精確度最終確定適用于本文定位平臺(tái)的建模方法。 為了求解平臺(tái)剛度隨溫度的變化規(guī)律，為平臺(tái)的振動(dòng)分析提供理論基礎(chǔ)，提出了一種建立平臺(tái)剛度模型的方法。采用有限元對(duì)定位平臺(tái)進(jìn)行剛度分析，求出定位平臺(tái)在不同溫度下的剛度值，利用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)方法建立剛度隨溫度變化的模型。
【關(guān)鍵詞】：定位平臺(tái) 熱誤差建模 剛度建模 有限元
【學(xué)位授予單位】：蘇州大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2014
【分類號(hào)】：TH113.1
【目錄】：

• 中文摘要4-5
• Abstract5-9
• 第一章 緒論9-17
• 1.1 課題研究背景及意義9-10
• 1.2 國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀10-14
• 1.2.1 國(guó)內(nèi)發(fā)展現(xiàn)狀10-12
• 1.2.2 國(guó)外發(fā)展現(xiàn)狀12-14
• 1.3 研究方法概述14-15
• 1.4 平臺(tái)熱誤差及剛度模型建立關(guān)鍵技術(shù)問題15-16
• 1.5 本文的主要研究?jī)?nèi)容16-17
• 第二章 基于有限元法定位平臺(tái)熱分析17-38
• 2.1 引言17
• 2.2 定位平臺(tái)總體結(jié)構(gòu)17-19
• 2.3 定位平臺(tái)熱學(xué)特性19-25
• 2.3.1 定位平臺(tái)傳熱基本原理19-22
• 2.3.2 定位平臺(tái)熱源分析22-24
• 2.3.3 定位平臺(tái)的熱特性分析24-25
• 2.4 定位平臺(tái)熱分析25-30
• 2.4.1 單元選擇及網(wǎng)格劃分25-26
• 2.4.2 邊界條件和初始條件26
• 2.4.3 定位平臺(tái)熱分析26-30
• 2.5 定位平臺(tái)熱-結(jié)構(gòu)耦合分析30-32
• 2.6 定位平臺(tái)剛度分析32-37
• 2.6.1 定位平臺(tái)剛度簡(jiǎn)介32-33
• 2.6.2 定位平臺(tái)整體及局部剛度求解33-37
• 2.7 本章小結(jié)37-38
• 第三章 基于灰色系統(tǒng)理論的溫度測(cè)點(diǎn)優(yōu)化38-52
• 3.1 引言38
• 3.2 平臺(tái)溫度測(cè)點(diǎn)優(yōu)化選擇策略38-40
• 3.3 灰色關(guān)聯(lián)度在溫度測(cè)點(diǎn)優(yōu)化選擇中的應(yīng)用40-50
• 3.3.1 灰色關(guān)聯(lián)度基本概念40-42
• 3.3.2 灰色關(guān)聯(lián)度的應(yīng)用求解42-48
• 3.3.3 定位平臺(tái)溫度測(cè)點(diǎn)的綜合優(yōu)化48-50
• 3.4 確定平臺(tái)溫度測(cè)點(diǎn)50-51
• 3.5 本章小結(jié)51-52
• 第四章 定位平臺(tái)熱誤差及剛度模型的建立52-70
• 4.1 引言52
• 4.2 定位平臺(tái)熱誤差及剛度建模方法研究52-57
• 4.2.1 多元線性回歸方法研究52-53
• 4.2.2 BP 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建模方法研究53-55
• 4.2.3 RBF 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建模方法研究55-57
• 4.3 定位平臺(tái)熱誤差建模57-66
• 4.3.1 多元線性回歸熱誤差建模58-61
• 4.3.2 BP 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)熱誤差建模61-64
• 4.3.3 RBF 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)熱誤差建模64-66
• 4.3.4 定位平臺(tái)熱誤差模型的確定66
• 4.4 高精度定位平臺(tái)剛度建模66-69
• 4.4.1 定位平臺(tái)整體剛度建模67
• 4.4.2 定位平臺(tái)局部剛度建模67-69
• 4.5 本章小結(jié)69-70
• 第五章 結(jié)論與展望70-71
• 結(jié)論70
• 展望70-71
• 參考文獻(xiàn)71-75
• 攻讀碩士學(xué)位期間科研成果75-76
• 致謝76-77

【參考文獻(xiàn)】

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  本文關(guān)鍵詞：高精度定位平臺(tái)熱誤差及剛度建模方法研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號(hào)：326086