磁懸浮分子泵是一種采用磁軸承替代傳統(tǒng)軸承的真空泵,是典型的機(jī)電一體化產(chǎn)品,具有高轉(zhuǎn)速、長壽命和高剛度等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體等領(lǐng)域。本課題研究目的是為了解決國家16項重大專項課題之一——神光Ⅲ項目中要求的高真空和高潔凈等問題。普通分子泵有壽命短、振動和噪音高以及抽取真空的潔凈度不理想的缺點,顯然不能滿足其要求,因此磁懸浮分子泵的研究應(yīng)用具有特殊的意義。本論文主要進(jìn)行了磁懸浮分子泵結(jié)構(gòu)設(shè)計,磁軸承數(shù)字控制系統(tǒng)的研究和基于DSP的數(shù)字控制器模擬化設(shè)計方法的研究。首先,在渦輪分子泵的基礎(chǔ)上,根據(jù)磁軸承的特點進(jìn)行了磁懸浮渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計,側(cè)重于介紹磁懸浮渦輪分子泵磁軸承系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和構(gòu)成部件,以及其機(jī)械裝置的重新設(shè)計與改進(jìn)工作,并介紹了工作原理。其次,對磁懸浮渦輪分子泵磁軸承系統(tǒng)各部分進(jìn)行了詳細(xì)的介紹,建立了各個部分的數(shù)學(xué)模型,建立了控制系統(tǒng)的閉環(huán)傳遞函數(shù),用MATLAB對其進(jìn)行了仿真研究,并在此基礎(chǔ)上分析了PID調(diào)節(jié)器中各參數(shù)對控制性能的影響。再次,對基于DSP的數(shù)字控制器進(jìn)行了介紹,研究了數(shù)字控制器的模擬化設(shè)計方法,研究了數(shù)字控制系統(tǒng)控制算法和離散化方法,用MATLAB對磁懸浮渦輪分子泵... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：57 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

法國S2M公司分子泵Fig.1-1MolecularpumpofS2MCompanyinFrench

把轉(zhuǎn)子支持在泵腔內(nèi)，控制的電磁鐵控制這 5 個自由度磁鐵支承，其余用 4 個電磁 1 組軸向電磁鐵控制和 2 組僅在軸向用 1 組電磁鐵控制數(shù)越多造價越昂貴,因而才有少，控制精度越低。所以現(xiàn)商，多以磁懸浮分子泵為研投放市場。使泵的可靠性提的主要廠家也正在開發(fā)研制必要對用于分子泵的磁軸承 1-2 德國萊寶 MAG 系列磁懸浮AG Magnetic Molecular pump of

eams最早研制出離心機(jī)用混合磁軸承。衛(wèi)星飛輪。20 世紀(jì) 70 年代以來，磁控制理論的發(fā)展，帶動了磁軸承技術(shù)加承的研制與開發(fā)中。1976 年法國成立的磁軸承系統(tǒng)P[16~18]P。從 1988 年起，國際磁軸承技術(shù)會議P[19~25]P。九十年代初在術(shù)研究的進(jìn)展，磁軸承得到了越來越多商業(yè)公司參與到這個具有廣闊發(fā)展前景作。這些機(jī)構(gòu)與公司包括：美國 NAS利大學(xué)、德州大學(xué)奧斯丁分校、波音公院、MECOS 公司、法國 S2M、德國 Me 公司、日本東京大學(xué)、千葉大學(xué)、島津公司應(yīng)用于天然氣傳輸?shù)拇艖腋‰x心壓輸 21.3 x 106mP3P(755 MMSCFD)的天，功率 900W， 轉(zhuǎn)速 60 000r/min。圖 800W，轉(zhuǎn)速為 24 000r/min。

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
[1]磁軸承開關(guān)型功率放大器的研究[D]. 臧曉敏.南京航空航天大學(xué) 2004



本文編號：3057158