發(fā)布時(shí)間：2021-01-19 13:31

　　從MEMS器件晶圓級(jí)測(cè)試過(guò)程中所需的特殊測(cè)試環(huán)境出發(fā),簡(jiǎn)述了自動(dòng)真空探針臺(tái)的操作流程,介紹了設(shè)備的主要技術(shù)特點(diǎn),并對(duì)該設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)的特殊需求及后續(xù)開(kāi)發(fā)方案進(jìn)行了詳細(xì)描述。 

【文章來(lái)源】：電子工業(yè)專用設(shè)備. 2020,49(03)

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【文章目錄】：
1 自動(dòng)真空探針臺(tái)測(cè)試原理
2 自動(dòng)真空探針臺(tái)測(cè)試流程
3 自動(dòng)真空探針臺(tái)測(cè)試特點(diǎn)
4 自動(dòng)真空探針臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    4.1 真空腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及密封技術(shù)
        4.1.1 真空腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
        4.1.2 真空腔體密封技術(shù)
    4.2 真空探針臺(tái)工作臺(tái)結(jié)構(gòu)
        4.2.1 XY精密工作臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
        4.2.2 承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    4.3 承片臺(tái)制冷與加熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    4.4 探針、探卡可靠性設(shè)計(jì)
    4.5 機(jī)械減震結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
5 結(jié)束語(yǔ)


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]真空探針設(shè)備工藝研究[J]. 呂磊.  電子工業(yè)專用設(shè)備. 2013(04)
[2]探針測(cè)試設(shè)備簡(jiǎn)介[J]. 童志義.  電子工業(yè)專用設(shè)備. 2008(02)
[3]MEMS封裝中真空封口及真空度檢測(cè)技術(shù)[J]. 張麗華,李軍,邵崇儉.  微納電子技術(shù). 2003(Z1)

碩士論文
[1]小尺寸真空測(cè)試技術(shù)研究[D]. 王順?shù)?西安工業(yè)大學(xué) 2018
[2]基于真空探針臺(tái)的紅外焦平面自動(dòng)測(cè)試的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 賈超超.電子科技大學(xué) 2016



本文編號(hào)：2987081