【摘要】：設(shè)計了一種新型水平面內(nèi)微驅(qū)動器,其具有結(jié)構(gòu)簡單,響應速度快,輸出位移大的特點。通過ANSYS軟件建立了微驅(qū)動器的有限元模型,并對其進行壓電分析,獲得y、z向的變形圖,其輸出端的y、z向位移分別為0.61μm和1.13μm。經(jīng)過模態(tài)分析獲得微驅(qū)動器的前五階共振頻率,并提取了前三階振型圖,研究結(jié)果可知共振狀態(tài)對微驅(qū)動器工作的影響狀況。對微驅(qū)動器的關(guān)鍵尺寸進行了參數(shù)化研究,可對微驅(qū)動器的進一步設(shè)計提供理論指導。
【圖文】：

特點［１－３］，作為微機電系統(tǒng)的重要組成部分，一直伴隨著微機電系統(tǒng)的發(fā)展而發(fā)展，可應用于航空航天、慣性制導、汽車電子、微型機器人、移動通信等領(lǐng)域。壓電材料具有正逆壓電效應，既可用于制造傳感元件又可用于制造驅(qū)動元件，壓電驅(qū)動器就是利用壓電材料的逆壓電效應，實現(xiàn)晶體的機械變形，從而提供驅(qū)動力或驅(qū)動位移，本文利用有限元軟件ＡＮ－ＳＹＳ１５．０對水平面內(nèi)壓電微驅(qū)動器進行了壓電分析與模態(tài)分析，并對各尺寸參數(shù)對輸出位移的影響情況進行了研究。１微驅(qū)動器的結(jié)構(gòu)設(shè)計與原理分析圖１為微驅(qū)動器的設(shè)計采用雙層復合結(jié)構(gòu)。上層為壓電陶瓷材料，下層為多晶硅材料，硅基體設(shè)計為對稱結(jié)構(gòu)，其主要由位于根部的支撐端、輸出端、中心橫梁、四周斜梁及伸出部分構(gòu)成，，其尺寸參數(shù)如圖１微驅(qū)動器結(jié)構(gòu)簡圖

＝００－４．１００－４．１００１４．１００００１０．５０１０．q縬纐模擔埃皅牛茫恚玻ǎ玻┫嘍越櫚緹卣螅郟矗葒牛潁劍福埃矗叮埃埃埃福埃矗叮埃埃埃叮擔梗畄縬纐模穛牛ǎ常玻蔽⑶韉難溝綬治齠暈⑶韉鬧С哦聳┘尤雜啥裙潭ㄔ際�，灾J溝綾∧さ南鹵礱媸┘櫻玻埃值繆梗媳礱娼擁�。哇E�、３分柄_⑶髟冢ⅲ較虻謀湫甕�。微驱动启|涑齠耍蛭灰莆埃叮寶蹋�，ｚ向位移为１．１Ｄc蹋懟Ｍ跡玻蟣湫甕紀跡常蟣湫甕幾謀溲溝綾∧は鹵礱婕だ繆溝拇笮。郟擔叮藎跡次涑齠宋灰坪圖だ繆辜淶墓叵登摺Ｊ涑齠耍�、ｚ向位邑毤訓V淙氳繆鉤燒壤咝怨叵�。所诣�賞ü齟蠹だ繆估刺岣呤涑齠慫矯婺冢蛭灰頻氖涑觶幣悸鞘涑齠耍蛭灰圃齟蠖運絞涑鎏匭緣撓跋臁Ｍ跡吹繆梗灰乒叵登擼玻參⑶韉哪Ｌ治鐾üＬ治觶郟罰福萑范ㄎ⑶韉惱穸匭�，以分锡r艙衲Ｌ暈⑶鞴ぷ髯刺撓跋燁榭�。ＡP保囪溝纈肷猓玻埃保賭

本文編號：2564555