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光器件封裝運(yùn)動平臺的柔性鉸鏈設(shè)計與分析

發(fā)布時間:2019-01-02 18:48
【摘要】:在應(yīng)用于光器件封裝中的六自由度柔性并聯(lián)運(yùn)動平臺中,柔性鉸鏈的性能是制約運(yùn)動平臺大行程和高精度的重要因素。根據(jù)卡氏定理和Lobatto求積公式,建立圓角直梁型柔性鉸鏈力學(xué)模型,推導(dǎo)出鉸鏈的柔度矩陣。同時提出了評價柔性鉸鏈性能的參數(shù),即轉(zhuǎn)動能力θ和轉(zhuǎn)動精度σ。在此基礎(chǔ)上,計算并分析了圓角直梁型柔性鉸鏈的結(jié)構(gòu)參數(shù)L、d、r對其轉(zhuǎn)動能力θ和轉(zhuǎn)動精度σ的影響,并通過有限元分析法進(jìn)行驗證。結(jié)果表明,提升L和r、降低d可以提升柔性鉸鏈的性能,為運(yùn)用于光器件封裝的柔性并聯(lián)運(yùn)動平臺設(shè)計提供了有力依據(jù)。
[Abstract]:In the 6-DOF flexible parallel kinematic platform which is used in optical device packaging, the performance of flexible hinge is an important factor that restricts the large stroke and high precision of the platform. According to Cartesian theorem and Lobatto quadrature formula, the mechanical model of circular straight beam flexure hinge is established, and the flexibility matrix of hinge is deduced. At the same time, the parameters for evaluating the performance of flexure hinge are presented, namely rotation capacity 胃 and rotation precision 蟽. On this basis, the influence of the structural parameters of the circular straight beam flexure hinge on its rotation capacity 胃 and rotation precision 蟽 is calculated and analyzed, and verified by finite element analysis. The results show that lifting L and r and reducing d can improve the performance of flexure hinge and provide a powerful basis for the design of flexible parallel motion platform which is used in optical device packaging.
【作者單位】: 中南大學(xué)高性能復(fù)雜制造國家重點實驗室;中南大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】:國家自然科學(xué)基金(光電子封裝的柔性并聯(lián)運(yùn)動設(shè)計與控制研究,51575534)
【分類號】:TH112

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本文編號:2398851

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