本文關(guān)鍵詞：銅與釕電化學(xué)機械拋光及其特性的研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

國內(nèi)圖書分類號：TH161 學(xué)校代碼：10213 國際圖書分類號：621.923 密級：公開 工學(xué)博士學(xué)位論文 銅與釕電化學(xué)機械拋光及其特性的研究 博 士 研 究 生：邊燕飛 導(dǎo) 師：翟文杰 申 請 學(xué) 位：工學(xué)博士 學(xué) 科：機械設(shè)計及理論 所 在 單 位：機電工程學(xué)院 答 辯 日 期：2014年9月 授予學(xué)位單位：哈爾濱工業(yè)大學(xué) 萬方數(shù)據(jù) 據(jù)數(shù)方萬 Technologyof Institute Harbin ：：Degree-Conferring-InstitutionDegree-Conferring-Institution ：Degree-Conferring-Institution ：Degree-Conferring-Institution ：： 2014 ,Sept. DefenceDefenceofof DateDate ： Defenceof Date ： Defenceof Date ：： Eng.echatronicsMof School AffiliationAffiliation ： Affiliation ： Affiliation Theory Its & Design echanicalM ：：SpecialitySpeciality ：Speciality ：Speciality Engineeringof Doctor ：：forfor AppliedApplied DegreeDegree AcademicAcademic ：for Applied Degree Academic ：for Applied Degree Academic ：： Wenjie Zhai Prof. SupervisorSupervisor ： Supervisor ： Supervisor ：： YanfeiBian CandidateCandidate ： Candidate ： Candidate CHARACTERISTICSCHARACTERISTICSTHEIRTHEIR ANDANDPOLISHINGPOLISHING CHARACTERISTICSTHEIR ANDPOLISHING CHARACTERISTICSTHEIR ANDPOLISHING MECHANICALMECHANICALELECTROCHEMICALELECTROCHEMICAL MECHANICALELECTROCHEMICAL MECHANICALELECTROCHEMICAL RUTHENIUMRUTHENIUM ANDANDCOPPERCOPPER ONON STUDIESSTUDIES RUTHENIUM ANDCOPPER ON STUDIES RUTHENIUM ANDCOPPER ON STUDIES Engineeringin Degree Doctoral thefor Dissertation 621.923 U.D.C: H161T Index:Classified Abstract 摘 要 大規(guī)模集成電路制造中采用大馬士革工藝實現(xiàn)多層銅互連結(jié)構(gòu)，其中銅的 電化學(xué)機械拋光與銅/釕阻擋層的電化學(xué)機械拋光是關(guān)鍵的兩個獨立的步驟。隨 著銅布線特征尺寸日益減小和器件結(jié)構(gòu)層向微細復(fù)雜化發(fā)展，銅/低k介質(zhì)材料 互連技術(shù)為集成電路芯片制造提出了方向與挑戰(zhàn)。本文開展銅與釕電化學(xué)

  本文關(guān)鍵詞：銅與釕電化學(xué)機械拋光及其特性的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。