【摘要】：正半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的初期(20世紀(jì)60年代),人們發(fā)現(xiàn)微米級(jí)別的元器件不但體積小,而且表現(xiàn)出比宏觀尺寸器件更優(yōu)良的電學(xué)和機(jī)械性能。這種新奇的現(xiàn)象引起了當(dāng)時(shí)業(yè)界的興趣,隨后微米技術(shù)及其理念很快進(jìn)入了半導(dǎo)體以外領(lǐng)域,與機(jī)械等傳統(tǒng)學(xué)科相結(jié)合,產(chǎn)生了新的研究方向即微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。在其發(fā)展初期,大批量的MEMS器件被應(yīng)用在汽車行業(yè),在安全氣囊傳感控制中迅速取得了成功。而后MEMS傳感器
[Abstract]:In the early days of the development of positive semiconductor industry (1960s), it was found that micrometer components were not only small in size, but also showed better electrical and mechanical properties than macroscopically sized devices. This novel phenomenon aroused the interest of the industry at that time, then micron technology and its concept quickly entered the field outside semiconductor, and combined with the traditional disciplines such as machinery, resulting in a new research direction, that is, micro-electromechanical system (MEMS). In the early stage of its development, a large number of MEMS devices were applied in the automotive industry, and achieved rapid success in the airbag sensing control. Then MEMS senso
【作者單位】： 精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(天津大學(xué));
【分類號(hào)】：TH-39;TB383.1

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3 馬巖;納微米科學(xué)與技術(shù)在木材工業(yè)的應(yīng)用前景展望[J];林業(yè)科學(xué);2001年06期

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5 ;[J];;年期

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2 董鵬;陳勝利;袁桂梅;周倩;;用陣列測(cè)量技術(shù)對(duì)微米／亞微米單分散微球粒徑定值[A];第七屆全國(guó)顆粒測(cè)試學(xué)術(shù)會(huì)議、2008上海市顆粒學(xué)會(huì)年會(huì)論文集[C];2008年

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7 記者 盧蘇燕 張小軍 樂(lè)紹延 潘治;黑客還想“黑”手機(jī)[N];新華每日電訊;2002年

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本文編號(hào)：2186351