本文選題：復合分子泵 + 牽引級　； 參考：《東北大學學報(自然科學版)》2016年10期

【摘要】：建立了描述復合分子泵牽引級抽氣性能的理論模型.依據(jù)該理論模型,在牽引級不同螺旋升角、轉(zhuǎn)子-定子間隙、轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速、被抽氣體流動狀態(tài)條件下,對牽引級螺旋槽深與壓縮比的關(guān)系進行了研究.結(jié)果表明:壓縮比隨螺旋槽深的減小,先增加后減小,存在最優(yōu)螺旋槽深,使牽引級的壓縮比達到最大;螺旋升角對最優(yōu)螺旋槽深影響較小;最優(yōu)螺旋槽深隨轉(zhuǎn)子-定子間隙減小而減小,隨轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速的增加而增加;當被抽氣體為黏滯流時,最優(yōu)槽深值更小.
[Abstract]:A theoretical model for describing the pumping performance of the traction stage of a compound molecular pump is established. According to the theoretical model, the relationship between the depth of spiral groove and compression ratio of traction stage is studied under the conditions of different spiral lift angle, rotor stator clearance, rotor speed and gas flow state. The results show that the compression ratio increases first and then decreases with the decrease of the depth of the spiral groove, and there is an optimal depth of the spiral groove, which makes the compression ratio of the traction stage reach the maximum, and the spiral angle has little effect on the optimal depth of the spiral groove. The optimal spiral groove depth decreases with the decrease of rotor stator clearance and increases with the increase of rotor speed, and the optimal groove depth is smaller when the extracted gas is viscous.
【作者單位】： 東北大學機械工程與自動化學院;中國工程物理研究院機械制造工藝研究所;
【基金】：國家重大科學儀器設備開發(fā)專項(2013YQ130429)
【分類號】：TH38

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本文編號：1878656