本文選題：機械刻劃 + 中階梯光柵�。� 參考：《長春理工大學(xué)》2012年碩士論文

【摘要】：光柵機械刻劃是用金剛石刻劃刀對光柵基底上的金屬膜進行擠壓、拋光,使其發(fā)生形變而形成階梯狀刻槽的過程。針對79g/mm中階梯衍射光柵高精度刻劃的要求,本文以直線刃刻劃刀為切入點,對光柵機械刻劃過程進行深入研究。第一,分析了光柵機械刻劃過程中鍍膜材料的成形過程,并依據(jù)塑性成形理論建立了刻劃深度與光柵槽深之間的數(shù)學(xué)關(guān)系模型；第二,借助有限元手段對79g/mm中階梯衍射光柵刻劃過程進行模擬仿真,分析刀具參數(shù)、安裝參數(shù)等對光柵槽形形狀的影響規(guī)律以及鍍膜材料的流動規(guī)律；第三,基于正交試驗法對刀具參數(shù)、安裝參數(shù)進行優(yōu)化,提出光柵槽形控制策略；第四,在分析優(yōu)化的基礎(chǔ)上進行刻劃刀樣刀試制,準(zhǔn)備刻劃試驗。
[Abstract]:The mechanical scribing of the grating is the process of extruding and polishing the metal film on the grating substrate by using a diamond cutting knife . In order to meet the requirement of high precision scoring of the step diffraction grating in 79g / mm , this paper studies the process of grating mechanical scribing . First , the forming process of the coating material in the process of grating mechanical scribing is analyzed , and the mathematical relation model between the scoring depth and the depth of the grating groove is established according to the plastic forming theory .
Secondly , the step diffraction grating scribing process of 79g / mm is simulated and simulated by means of finite element method , and the influence law of cutter parameters and installation parameters on the shape of grating groove and the flow law of coating material are analyzed .
Thirdly , based on the orthogonal test method , the parameters of the tool and the parameters of the installation are optimized , and the grating slot - shaped control strategy is proposed .
Fourthly , on the basis of the analysis and optimization , the scale knife - like knife test is carried out , and the scribing test is prepared .

【學(xué)位授予單位】：長春理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2012
【分類號】：TH16

【參考文獻】

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本文編號：1799100