本文選題：機(jī)械刻劃 + 中階梯光柵　； 參考：《長(zhǎng)春理工大學(xué)》2012年碩士論文

【摘要】：光柵機(jī)械刻劃是用金剛石刻劃刀對(duì)光柵基底上的金屬膜進(jìn)行擠壓、拋光,使其發(fā)生形變而形成階梯狀刻槽的過(guò)程。針對(duì)79g/mm中階梯衍射光柵高精度刻劃的要求,本文以直線刃刻劃刀為切入點(diǎn),對(duì)光柵機(jī)械刻劃過(guò)程進(jìn)行深入研究。第一,分析了光柵機(jī)械刻劃過(guò)程中鍍膜材料的成形過(guò)程,并依據(jù)塑性成形理論建立了刻劃深度與光柵槽深之間的數(shù)學(xué)關(guān)系模型；第二,借助有限元手段對(duì)79g/mm中階梯衍射光柵刻劃過(guò)程進(jìn)行模擬仿真,分析刀具參數(shù)、安裝參數(shù)等對(duì)光柵槽形形狀的影響規(guī)律以及鍍膜材料的流動(dòng)規(guī)律；第三,基于正交試驗(yàn)法對(duì)刀具參數(shù)、安裝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,提出光柵槽形控制策略；第四,在分析優(yōu)化的基礎(chǔ)上進(jìn)行刻劃刀樣刀試制,準(zhǔn)備刻劃試驗(yàn)。
[Abstract]:The mechanical scribing of the grating is the process of extruding and polishing the metal film on the grating substrate by using a diamond cutting knife . In order to meet the requirement of high precision scoring of the step diffraction grating in 79g / mm , this paper studies the process of grating mechanical scribing . First , the forming process of the coating material in the process of grating mechanical scribing is analyzed , and the mathematical relation model between the scoring depth and the depth of the grating groove is established according to the plastic forming theory .
Secondly , the step diffraction grating scribing process of 79g / mm is simulated and simulated by means of finite element method , and the influence law of cutter parameters and installation parameters on the shape of grating groove and the flow law of coating material are analyzed .
Thirdly , based on the orthogonal test method , the parameters of the tool and the parameters of the installation are optimized , and the grating slot - shaped control strategy is proposed .
Fourthly , on the basis of the analysis and optimization , the scale knife - like knife test is carried out , and the scribing test is prepared .

【學(xué)位授予單位】：長(zhǎng)春理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2012
【分類(lèi)號(hào)】：TH16

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1799100