發(fā)布時間：2018-04-23 19:59

  本文選題：微機電系統(tǒng)(MEMS)陀螺 + 結構設計��； 參考：《壓電與聲光》2016年05期

【摘要】：為解決高過載微陀螺難以實現高靈敏檢測的問題,設計了一種高靈敏且高過載的微陀螺結構。設計的微陀螺結構驅動模態(tài)與檢測模態(tài)的頻率高度匹配,提高了微陀螺的結構靈敏度。該微陀螺采用面內檢測方式,驅動與檢測模態(tài)阻尼類型主要為滑膜阻尼,實現了在大氣壓環(huán)境下微陀螺的高品質因數Q值設計。微陀螺均采用雙懸臂梁設計,增加了微陀螺結構的穩(wěn)定性,進而提高了其抗過載能力。最后通過微陀螺的器件級仿真,得到了所設計陀螺結構在驅動方向過載能力約為100 000g(g=9.8m/s~2),檢測方向過載能力約為70 000g的前提下,結構靈敏度為53nm/[(°)/s]。
[Abstract]:In order to solve the problem that high overload micro gyroscope is difficult to realize high sensitivity detection, a high sensitivity and high overload micro gyroscope structure is designed. The structure sensitivity of the micro gyroscope is improved by matching the driving mode of the micro gyro structure with the frequency height of the detection mode. The mode damping of the micro gyroscope is mainly synovial damping. The high quality factor Q design of the micro gyroscope under atmospheric pressure is realized. Both microgyroscopes are designed with double cantilever beams, which increase the stability of microgyroscopes and improve their overload resistance. Finally, through the device level simulation of the micro gyroscope, it is obtained that the structure sensitivity is 53nm/ [(擄/ s)] when the driving direction overload capacity is about 100000 g / g and the detection direction overload capacity is about 70000g.
【作者單位】： 中北大學電子測試技術國家重點實驗室;中北大學儀器與電子學院;中北大學微系統(tǒng)集成研究中心;
【基金】：國家自然基金資助項目(61571405;62201070516) 山西省攻關基金資助項目(20130322005-4)
【分類號】：TJ765;TH-39

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本文編號：1793391