本文選題：晶圓制造Interbay系統(tǒng) + 智能調(diào)度�。� 參考：《上海交通大學(xué)》2011年碩士論文

【摘要】：半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)是當(dāng)今最為復(fù)雜的離散制造系統(tǒng)之一,具有可重入流、大規(guī)模在制品混合加工、加工工序復(fù)雜、加工周期長(zhǎng)、設(shè)備昂貴以及設(shè)備負(fù)載不均衡等明顯區(qū)別于其他制造業(yè)的特點(diǎn)。隨著自動(dòng)化物料運(yùn)輸系統(tǒng)的普及,如何利用自動(dòng)物料運(yùn)輸系統(tǒng)來提高晶圓制造企業(yè)的整體生產(chǎn)效率成為了亟待解決的問題。晶圓制造自動(dòng)化物料運(yùn)輸系統(tǒng)包括了Interbay和Intrabay物料運(yùn)輸系統(tǒng),其中Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)是主要組成部分。通過對(duì)Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)的優(yōu)化調(diào)度,可以減少晶圓卡派送時(shí)間和等待時(shí)間,提高運(yùn)輸小車?yán)寐?提高晶圓產(chǎn)出量,縮短晶圓加工周期并提高整體設(shè)備利用率。因此研究Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)的優(yōu)化調(diào)度,對(duì)晶圓制造系統(tǒng)具有極其重要的意義。本文的研究圍繞這一問題展開,具體研究?jī)?nèi)容包括: 1)根據(jù)Interbay物料運(yùn)輸實(shí)時(shí)優(yōu)化調(diào)度問題的特點(diǎn),以減少工件派送時(shí)間、提高運(yùn)輸效率為目標(biāo),綜合考慮Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度過程中多個(gè)影響因素建立Interbay物料運(yùn)輸實(shí)時(shí)指派成本模型,將基于改進(jìn)匈牙利算法的最優(yōu)指派方法和基于模糊邏輯控制技術(shù)的動(dòng)態(tài)權(quán)重調(diào)節(jié)方法相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)Interbay物料運(yùn)輸實(shí)時(shí)優(yōu)化調(diào)度。 2)研究基于復(fù)合啟發(fā)式調(diào)度規(guī)則的Interbay物料運(yùn)輸優(yōu)化調(diào)度方法,提出基于遺傳規(guī)劃的Interbay物料運(yùn)輸優(yōu)化調(diào)度規(guī)則構(gòu)造方法,獲得能夠在動(dòng)態(tài)隨機(jī)情形下實(shí)現(xiàn)Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度系統(tǒng)優(yōu)化調(diào)度,并且具有較強(qiáng)魯棒性的復(fù)合啟發(fā)式規(guī)則。 3)研究將晶圓調(diào)度和小車運(yùn)輸調(diào)度相結(jié)合的Interbay物料運(yùn)輸優(yōu)化調(diào)度方法。根據(jù)實(shí)時(shí)多目標(biāo)要求,建立面向晶圓加工調(diào)度和小車運(yùn)輸調(diào)度相結(jié)合的調(diào)度問題數(shù)學(xué)模型,將晶圓調(diào)度、小車指派和小車路由過程結(jié)合起來考慮,并采用并行多目標(biāo)遺傳算法進(jìn)行求解,突破以往優(yōu)化調(diào)度方法將目標(biāo)加權(quán)處理的優(yōu)化思路,實(shí)現(xiàn)Interbay物料運(yùn)輸?shù)膶?shí)時(shí)多目標(biāo)優(yōu)化。 在上述研究?jī)?nèi)容基礎(chǔ)上,以上海某晶圓制造企業(yè)實(shí)際生產(chǎn)數(shù)據(jù)為案例背景,設(shè)計(jì)開發(fā)了Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度原型系統(tǒng),對(duì)本文提出的模型和算法進(jìn)行了驗(yàn)證。本文的研究成果為晶圓制造Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)的優(yōu)化調(diào)度的提供了一些新的方法,與企業(yè)實(shí)際情況對(duì)比,本文提出的Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度方法提高了企業(yè)的生產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本,從而驗(yàn)證了本文提出的方法的有效性。
[Abstract]:......
【學(xué)位授予單位】：上海交通大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2011
【分類號(hào)】：TH165.1

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 曹政才;吳啟迪;喬非;王遵彤;;基于遺傳算法的半導(dǎo)體生產(chǎn)線調(diào)度研究進(jìn)展[J];同濟(jì)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2008年01期

，

本文編號(hào)：1741476