本文關(guān)鍵詞：MEMS諧振器集總參數(shù)的系統(tǒng)級提取方法　出處：《儀表技術(shù)與傳感器》2016年08期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：在MEMS諧振器的設(shè)計(jì)過程中,質(zhì)量、剛度等集總參數(shù)在描述器件動態(tài)性能方面起著決定性的作用。因此,集總參數(shù)的獲取至關(guān)重要。傳統(tǒng)的集總參數(shù)的提取方法有解析法、有限元法、實(shí)驗(yàn)法等。但這些方法在提取效率、提取精度方面都存在著固有的缺陷�；贛EMS系統(tǒng)級仿真平臺MuPEN,提出了一種由系統(tǒng)級仿真結(jié)果提取微諧振器剛度、質(zhì)量等集總參數(shù)的方法。以文獻(xiàn)中的微諧振器為例,對該方法進(jìn)行了驗(yàn)證。首先,通過Mu PEN平臺對微諧振器進(jìn)行系統(tǒng)級建模、仿真、數(shù)據(jù)擬合等。然后,提取了諧振器的剛度和質(zhì)量參數(shù),并將仿真提取結(jié)果與實(shí)驗(yàn)提取結(jié)果進(jìn)行對比,結(jié)果表明誤差小于5%。集總參數(shù)的系統(tǒng)級提取方法是準(zhǔn)確、高效的。
[Abstract]:......
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院;
【分類號】：TH-39
【正文快照】： 0引言微機(jī)械諧振器(微諧振器)具有尺寸小、品質(zhì)因數(shù)高,便于和IC(integrated circuits)集成等優(yōu)點(diǎn)[1],出現(xiàn)在眾多的MEMS傳感器設(shè)計(jì)方案中,例如:濾波器[2]、振蕩器[3]、諧振式慣性傳感器[4-5]、諧振式壓力傳感器[6]等。描述微諧振器的二階動力學(xué)方程在微諧振器的設(shè)計(jì)中起著關(guān)鍵

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 趙守約;集總參數(shù)測量誤差的合成方法[J];工業(yè)計(jì)量;1999年S1期

2 任挺進(jìn),李志剛,謝茂清,楊策;鍋爐單相區(qū)鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)的集總參數(shù)數(shù)學(xué)模型[J];清華大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);1999年10期

3 范永勝,眭U，

本文編號：1354417