本文關(guān)鍵詞：機(jī)械刻劃光柵刻線(xiàn)誤差及其修正方法研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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博士論文    

機(jī)械刻劃光柵刻線(xiàn)誤差及其修正方法研究

     論文目錄

摘要第1-7頁(yè)

Abstract第7-13頁(yè)

第1章 緒論第13-29頁(yè)

   ·研究背景及意義第13-16頁(yè)

   ·光柵刻劃?rùn)C(jī)的國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀第16-20頁(yè)

   ·機(jī)械刻劃光柵刻線(xiàn)誤差修正方法的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀第20-26頁(yè)

     ·機(jī)械修正方法第22-24頁(yè)

     ·光電控制方法第24-26頁(yè)

   ·論文主要研究?jī)?nèi)容和結(jié)構(gòu)安排第26-29頁(yè)

     ·論文的主要研究?jī)?nèi)容第26-27頁(yè)

     ·論文的結(jié)構(gòu)安排第27-29頁(yè)

第2章 光柵刻劃?rùn)C(jī)工作原理、誤差分析及光電控制方法第29-45頁(yè)

   ·引言第29頁(yè)

   ·光柵刻劃?rùn)C(jī)運(yùn)行方式及主要工作原理第29-36頁(yè)

     ·光柵刻劃?rùn)C(jī)的主要運(yùn)行方式第29-31頁(yè)

     ·光柵刻劃?rùn)C(jī)刻劃系統(tǒng)工作原理第31-33頁(yè)

     ·光柵刻劃?rùn)C(jī)分度系統(tǒng)工作原理第33-36頁(yè)

   ·機(jī)械刻劃光柵的刻線(xiàn)誤差主要來(lái)源及其分析方法第36-41頁(yè)

     ·光柵刻線(xiàn)誤差的主要來(lái)源第36-38頁(yè)

     ·有限元分析法在光柵刻線(xiàn)誤差來(lái)源分析中的應(yīng)用第38-40頁(yè)

     ·非理想平面光柵的衍射成像性能分析方法第40-41頁(yè)

   ·光柵刻劃?rùn)C(jī)微定位工作臺(tái)的光電控制方法第41-44頁(yè)

     ·微定位工作臺(tái)系統(tǒng)辨識(shí)方法第41-42頁(yè)

     ·微定位工作臺(tái)控制算法第42-43頁(yè)

     ·微定位工作臺(tái)位移和擺角測(cè)量方法第43-44頁(yè)

   ·本章小結(jié)第44-45頁(yè)

第3章 刻線(xiàn)誤差與基底面型誤差分離方法及其對(duì)光柵性能影響分析第45-61頁(yè)

   ·引言第45-46頁(yè)

   ·基底面型誤差、刻線(xiàn)誤差與光柵衍射波前關(guān)系的理論模型第46-48頁(yè)

   ·光柵衍射光譜性能的二維快速傅里葉變換分析方法第48-53頁(yè)

     ·惠更斯原理的近似表達(dá)式第48-50頁(yè)

     ·光柵衍射譜光強(qiáng)分布的二維快速傅里葉變換方法第50-52頁(yè)

     ·光柵性能指標(biāo)求解方法第52-53頁(yè)

   ·實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證及分析第53-60頁(yè)

     ·光柵刻線(xiàn)誤差和基底面型誤差分離實(shí)驗(yàn)第53-55頁(yè)

     ·刻線(xiàn)誤差和基底面型誤差對(duì)光柵光譜性能影響分析第55-58頁(yè)

     ·任意級(jí)衍射波前重構(gòu)及其與實(shí)測(cè)衍射波前對(duì)比分析第58-60頁(yè)

   ·結(jié)論第60-61頁(yè)

第4章 刻線(xiàn)彎曲與刻線(xiàn)位置誤差對(duì)光柵性能影響及機(jī)械修正方法第61-91頁(yè)

   ·引言第61-62頁(yè)

   ·非理想平面光柵的光線(xiàn)追跡分析法第62-68頁(yè)

     ·非理想平面光柵成像系統(tǒng)的理論模型第62-64頁(yè)

     ·等間距刻線(xiàn)彎曲和刻線(xiàn)位置誤差對(duì)光柵性能影響分析第64-68頁(yè)

   ·光柵等間距刻線(xiàn)彎曲的機(jī)械修正方法第68-80頁(yè)

     ·刻劃刀架系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對(duì)稱(chēng)性問(wèn)題的機(jī)械修正方法第69-72頁(yè)

     ·石英導(dǎo)軌系統(tǒng)剛度問(wèn)題的機(jī)械修正方法第72-75頁(yè)

     ·刻劃刀架系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)方式問(wèn)題的機(jī)械修正方法第75-80頁(yè)

   ·光柵刻線(xiàn)位置誤差的機(jī)械修正方法第80-90頁(yè)

     ·光柵刻線(xiàn)不完整問(wèn)題的機(jī)械修正方法第80-83頁(yè)

     ·刻劃刀架系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性問(wèn)題的機(jī)械修正方法第83-90頁(yè)

   ·結(jié)論第90-91頁(yè)

第5章 光柵刻劃?rùn)C(jī)微定位工作臺(tái)擺角誤差實(shí)時(shí)修正技術(shù)研究第91-137頁(yè)

   ·引言第91-92頁(yè)

   ·光柵刻劃?rùn)C(jī)微定位工作臺(tái)系統(tǒng)建模及動(dòng)態(tài)性能分析第92-101頁(yè)

     ·微定位工作臺(tái)系統(tǒng)的灰箱建模第92-94頁(yè)

     ·微定位工作臺(tái)系統(tǒng)參數(shù)估計(jì)第94-97頁(yè)

     ·微定位工作臺(tái)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)性能分析第97-101頁(yè)

   ·微定位工作臺(tái)的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制方法第101-115頁(yè)

     ·BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制原理第102-106頁(yè)

     ·BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制器仿真分析第106-110頁(yè)

     ·BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制與傳統(tǒng)PID控制對(duì)比實(shí)驗(yàn)第110-115頁(yè)

   ·微定位工作臺(tái)擺角誤差實(shí)時(shí)修正方法及實(shí)驗(yàn)分析第115-134頁(yè)

     ·雙壓電陶瓷式擺角誤差實(shí)時(shí)修正原理第116頁(yè)

     ·單壓電陶瓷式擺角誤差實(shí)時(shí)修正原理第116-121頁(yè)

     ·微定位工作臺(tái)擺角誤差測(cè)量實(shí)驗(yàn)及誤差分析第121-129頁(yè)

     ·光柵刻劃?rùn)C(jī)微定位工作臺(tái)擺角誤差修正實(shí)驗(yàn)及分析第129-134頁(yè)

   ·本章小結(jié)第134-137頁(yè)

第6章 總結(jié)與展望第137-141頁(yè)

   ·論文工作總結(jié)第137-138頁(yè)

   ·展望第138-141頁(yè)

參考文獻(xiàn)第141-149頁(yè)

在學(xué)期間學(xué)術(shù)成果情況第149-151頁(yè)

指導(dǎo)教師及作者簡(jiǎn)介第151-153頁(yè)

致謝第153-154頁(yè)

論文編號(hào)BS1930556，這篇論文共154頁(yè)
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