本文關(guān)鍵詞：基于分形理論的光學(xué)表面誤差評(píng)價(jià)方法研究

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)表面 分形理論 化學(xué)機(jī)械拋光 響應(yīng)曲面法

【摘要】：在現(xiàn)代激光技術(shù)的應(yīng)用發(fā)展中,激光核聚變裝置、高能激光、紅外熱成像、衛(wèi)星等精密光學(xué)系統(tǒng)對(duì)先進(jìn)光學(xué)元件都有極大的需求,且對(duì)光學(xué)元件表面質(zhì)量的要求也越來(lái)越高。大量研究表明光學(xué)元件表面質(zhì)量會(huì)對(duì)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)造成巨大的影響。高質(zhì)量的光學(xué)元件不僅需要先進(jìn)的制造技術(shù),更需要合理的檢測(cè)手段保證表面誤差在一定的范圍內(nèi),使其滿足性能要求,這是尤為重要的。 由于光學(xué)表面?zhèn)鹘y(tǒng)評(píng)價(jià)方法存在諸多不足,文章基于光學(xué)表面的分形結(jié)構(gòu),提出將分形理論運(yùn)用于表面誤差評(píng)價(jià),并建立拋光工藝參數(shù)與分形維數(shù)的響應(yīng)模型。本文針對(duì)光學(xué)表面誤差評(píng)價(jià)方法,加工參數(shù)、分形維數(shù)二者響應(yīng)曲面模型關(guān)系進(jìn)行研究,主要研究?jī)?nèi)容包括： 1.分析比較傳統(tǒng)光學(xué)表面評(píng)價(jià)方法優(yōu)缺點(diǎn),基于光學(xué)表面存在分形結(jié)構(gòu),提出將分形理論運(yùn)用于光學(xué)表面誤差評(píng)價(jià)。 2.模擬仿真各分形維數(shù)計(jì)算方法的計(jì)算精度與適用場(chǎng)合,分析光學(xué)表面的分形特點(diǎn),通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證不同材料光學(xué)表面的分形維數(shù)與傳統(tǒng)評(píng)價(jià)參數(shù)存在的近似線性關(guān)系。 3.進(jìn)行CMP拋光加工試驗(yàn),利用響應(yīng)曲面法建立CMP拋光參數(shù)與分形維數(shù)的一階、二階響應(yīng)曲面模型,尋求最優(yōu)加工工藝參數(shù)。
【學(xué)位授予單位】：廈門(mén)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2014
【分類號(hào)】：TH161.14;TH74

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 張國(guó)海,夏洋,錢(qián)鶴,高文芳,于廣華,龍世兵;以注氮SiO_2 作為銅互連技術(shù)中的新型阻擋層(英文)[J];半導(dǎo)體學(xué)報(bào);2001年03期

2 馮婕;白瑜;邢廷文;;Zernike多項(xiàng)式波面擬合精度研究[J];光電技術(shù)應(yīng)用;2011年02期

3 王貴林,李圣怡,戴一帆;光學(xué)表面的分形特點(diǎn)與模擬表征算法[J];國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2003年04期

4 李成貴,劉杰,郎青山;機(jī)加工表面輪廓分形維數(shù)的兩種計(jì)算方法[J];航空精密制造技術(shù);1997年04期

5 高志山,陳進(jìn)榜,何勇,張國(guó)安,吳新民;波面功率譜密度中頻波段的干涉測(cè)試研究[J];中國(guó)激光;2000年04期

6 王貴林,戴一帆,鄭子文;光學(xué)表面的分形結(jié)構(gòu)和表征算法[J];計(jì)量學(xué)報(bào);2004年02期

7 高宏,薛實(shí)福,嚴(yán)普強(qiáng);表面三維形貌非接觸測(cè)量的現(xiàn)狀[J];固體潤(rùn)滑;1990年01期

8 葛世榮;粗糙表面的分形特征與分形表達(dá)研究[J];摩擦學(xué)學(xué)報(bào);1997年01期

9 葛世榮,索雙富;表面輪廓分形維數(shù)計(jì)算方法的研究[J];摩擦學(xué)學(xué)報(bào);1997年04期

10 任寰,卓志云,蔣曉東,彭凈,葉琳,黃祖鑫,唐燦;波前功率譜密度函數(shù)評(píng)價(jià)方法探討[J];強(qiáng)激光與粒子束;2002年02期

，

本文編號(hào)：1177177