本文關(guān)鍵詞：鍺單晶超精密加工表面質(zhì)量及其評價(jià)方法研究

  更多相關(guān)文章： 單點(diǎn)金剛石車削 鍺單晶 功率譜密度 分形維數(shù)

【摘要】：隨著超精密加工技術(shù)的發(fā)展,以超精密技術(shù)為支撐的產(chǎn)品已經(jīng)走入了人們的生活。而伴隨著加工技術(shù)的進(jìn)步,檢測技術(shù)也不斷前進(jìn)。本文中研究功率譜密度法和分形維數(shù)法的目的是在兩個(gè)具有相同表面粗糙度的鍺單晶加工表面中判斷哪一個(gè)具有更好的表面質(zhì)量。應(yīng)用這兩種方法能夠?qū)庸け砻孢M(jìn)一步的分析,從而對其加工質(zhì)量進(jìn)行評價(jià)。 首先通過單點(diǎn)金剛石車削實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證鍺單晶在超精密加工中,切削參數(shù)對表面質(zhì)量的影響與傳統(tǒng)機(jī)械加工具有一致性。隨后對功率譜密度的定義進(jìn)行表述,并通過幾種修正算法對功率譜密度曲線進(jìn)行修正。再通過對鍺單晶進(jìn)行車削加工,并使用表面輪廓儀對加工表面進(jìn)行離散點(diǎn)采集,再使用功率譜密度法對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。結(jié)果表明功率譜密度檢測法能夠準(zhǔn)確可靠的評價(jià)鍺單晶零件表面質(zhì)量。當(dāng)兩個(gè)加工表面具有相同的表面粗糙度時(shí),可以進(jìn)一步評價(jià)質(zhì)量的優(yōu)劣。 隨后分析研究了了第二種評價(jià)方法,既分形維數(shù)法。通過分形維數(shù)法對表面形貌進(jìn)行評價(jià)后,可以將每個(gè)鍺單晶工件的加工表面質(zhì)量擬合為一個(gè)具體的數(shù)值,相較于功率譜密度法,能夠更加直觀的對兩個(gè)鍺單晶零件的表面質(zhì)量進(jìn)行區(qū)分。
【關(guān)鍵詞】：單點(diǎn)金剛石車削 鍺單晶 功率譜密度 分形維數(shù)
【學(xué)位授予單位】：昆明理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2014
【分類號(hào)】：TH161
【目錄】：

• 摘要5-6
• Abstract6-7
• 目錄7-10
• 第一章 緒論10-22
• 1.1 課題來源10
• 1.2 本課題的研究背景以及意義10-11
• 1.3 超精密技術(shù)國內(nèi)外發(fā)展態(tài)勢11-14
• 1.4 超精密加工中的鍺單晶及超精密加工方法14-17
• 1.4.1 鍺單晶的應(yīng)用及戰(zhàn)略意義14-16
• 1.4.2 超精密加工方法16-17
• 1.5 超精密表面質(zhì)量的評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)17-19
• 1.6 超精密加工的未來發(fā)展19
• 1.7 本文的研究目的與方法19-22
• 第二章 影響鍺單晶超精密加工過程的基本因素22-30
• 2.1 環(huán)境因素22-23
• 2.1.1 超精密實(shí)驗(yàn)室的空氣質(zhì)量控制22
• 2.1.2 超精密實(shí)驗(yàn)室的室溫控制22-23
• 2.1.3 超精密實(shí)驗(yàn)室的環(huán)境防振要求23
• 2.2 車削參數(shù)對鍺單晶超精密加工表面粗糙度的影響23-29
• 2.2.1 實(shí)驗(yàn)設(shè)備與材料24-25
• 2.2.2 實(shí)驗(yàn)過程25-28
• 2.2.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)論28-29
• 2.3 本章小結(jié)29-30
• 第三章 功率譜密度對鍺單晶超精密加工表面質(zhì)量的評價(jià)30-50
• 3.1 表面形貌特征的常用評判參數(shù)30-31
• 3.2 功率譜的發(fā)展31-32
• 3.3 功率譜密度原理32-33
• 3.4 功率譜密度一維圖的估算原理33-44
• 3.4.1 形貌周期圖的定義法33-34
• 3.4.2 形貌周期圖估計(jì)算法的質(zhì)量評價(jià)34-44
• 3.5 功率譜密度的二維估算法44-47
• 3.5.1 功率譜密度二維估算法的定義44
• 3.5.2 功率譜密度在二維區(qū)域的估算方法44-45
• 3.5.3 功率譜密度的一維和二維轉(zhuǎn)換原理45-46
• 3.5.4 表面質(zhì)量評價(jià)參數(shù)在功率譜密度中的意義46-47
• 3.6 本章小結(jié)47-50
• 第四章 功率譜密度在鍺單晶超精密加工中的應(yīng)用50-62
• 4.1 相同加工方法相似表面粗糙度的功率譜密度分析50-53
• 4.2 不同加工方法的功率譜密度分析53-54
• 4.3 切削參數(shù)對功率譜密度的影響54-60
• 4.3.1 切削深度對功率譜密度的影響54-56
• 4.3.2 主軸轉(zhuǎn)速對功率譜密度的影響56-58
• 4.3.3 金剛石刀具進(jìn)給量對功率譜密度的影響58-60
• 4.4 本章小結(jié)60-62
• 第五章 分形維數(shù)對鍺單晶超精密加工表面質(zhì)量的評價(jià)62-70
• 5.1 引言62
• 5.2 分形理論的定義62-63
• 5.2.1 分形的概述62-63
• 5.2.2 維數(shù)的定義方法63
• 5.3 分形維數(shù)的估算原理63-65
• 5.3.1 盒計(jì)算法63-64
• 5.3.2 尺度法64
• 5.3.3 功率譜密度法64
• 5.3.4 結(jié)構(gòu)函數(shù)法64-65
• 5.4 不同加工方法的分形維數(shù)計(jì)算及比較65-66
• 5.5 不同切削參數(shù)對分形維數(shù)的影響66-68
• 5.5.1 切削深度對分形維數(shù)的影響66
• 5.5.2 主軸轉(zhuǎn)速對分形維數(shù)的影響66-67
• 5.5.3 進(jìn)給量對分形維數(shù)的影響67-68
• 5.6 分形維數(shù)判定法與功率譜密度法的實(shí)用性比較68-69
• 5.7 本章小結(jié)69-70
• 第六章 結(jié)論與展望70-72
• 6.1 結(jié)論70-71
• 6.2 展望71-72
• 致謝72-74
• 參考文獻(xiàn)74-77
• 附錄A 作者在碩士學(xué)位期間發(fā)表的論文77

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 黃波, 朱華盛;鍺在常溫下的線性熱膨脹系數(shù)[J];華南師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1995年02期

2 袁巨龍;王志偉;文東輝;呂冰海;戴勇;;超精密加工現(xiàn)狀綜述[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2007年01期

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本文編號(hào)：1006066