本文關(guān)鍵詞：用于濺射靶材的鈷基合金及細(xì)晶純金屬微觀組織的研究

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【摘要】：本文利用光學(xué)顯微鏡(OM)、X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)、透射電鏡(TEM)和電子背散射衍射(EBSD)分析了鑄造的非晶成分鈷基合金濺射靶材的微觀組織,用SEM中的能譜(EDS)確定了各組成相的成分,用差示掃描量熱儀(DSC)測量了合金的熔點(diǎn)和各組織形成溫度。微觀組織分析結(jié)果顯示鑄造非晶成分鈷基合金中僅殘存非常少量的孔隙,各組成相尺寸細(xì)小、分布均勻�；阼T造合金的微觀組織和DSC結(jié)果,對凝固過程中微觀組織形成和演化進(jìn)行了分析和討論。在不同溫度和不同壓縮比下,對純鋁、純銅進(jìn)行了多向壓縮(MAC)變形,并對變形的純鋁、純銅進(jìn)行退火已使其發(fā)生再結(jié)晶,利用微觀硬度計(jì)和光學(xué)顯微鏡(OM),研究了純鋁、純銅在不同溫度、不同壓縮比變形過程中微觀硬度和組織,研究了變形純鋁、純銅退火后的硬度和微觀組織。研究結(jié)果表明:常溫下壓縮純鋁過程中發(fā)現(xiàn),硬度隨壓縮道次沒有顯著變化,分析認(rèn)為純鋁層錯(cuò)能高,也不存在第二相釘扎位錯(cuò),易引起動(dòng)態(tài)回復(fù);隨后實(shí)驗(yàn)采用提高壓縮比和降低溫度的方法變形加工,壓縮比的增大會(huì)使硬度提高,溫度降低硬度明顯提高,晶粒更細(xì);最小壓縮比試樣三個(gè)周期后表面硬度增加28.5%,中心硬度提高41.7%,中心區(qū)域晶粒尺寸平均為19.09μm。純銅由于層錯(cuò)能低,改善措施,與壓縮純鋁相比效果不太明顯,液氮下試樣壓縮三個(gè)周期后表面硬度增加29.91%,中心硬度增加35.61%,晶粒細(xì)化到平均3.50μm。
【關(guān)鍵詞】：濺射靶材 鑄造 塑性變形 多向壓縮 晶粒細(xì)化 微觀結(jié)構(gòu)
【學(xué)位授予單位】：燕山大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TG113.1
【目錄】：

• 摘要4-5
• ABSTRACT5-10
• 第1章 緒論10-21
• 1.1 課題研究的背景和意義10-11
• 1.2 靶材的制備工藝概論11-12
• 1.2.1 熔融鑄造法11-12
• 1.2.2 粉末冶金法12
• 1.3 細(xì)晶濺射靶材制備方法12-17
• 1.3.1 ECAE工藝13-14
• 1.3.2 ARB工藝14
• 1.3.3 HPT工藝14-15
• 1.3.4 MAC工藝15-16
• 1.3.5 TE工藝16-17
• 1.4 金屬靶材的性能指標(biāo)17-19
• 1.4.1 純度17
• 1.4.2 雜質(zhì)含量17
• 1.4.3 致密度17-18
• 1.4.4 晶粒尺寸及分布均勻性18
• 1.4.5 晶體的取向18
• 1.4.6 成分組織分布均勻性18
• 1.4.7 靶材尺寸與幾何形狀18-19
• 1.5 金屬靶材的研究意義19
• 1.6 金屬靶材研究現(xiàn)狀19
• 1.7 論文研究的目的、內(nèi)容及難點(diǎn)19-21
• 1.7.1 研究目的19-20
• 1.7.2 研究內(nèi)容20
• 1.7.3 研究難點(diǎn)20-21
• 第2章 實(shí)驗(yàn)設(shè)備與實(shí)驗(yàn)方法21-29
• 2.1 引言21
• 2.2 實(shí)驗(yàn)材料和設(shè)備21-24
• 2.2.1 實(shí)驗(yàn)材料21
• 2.2.2 熔煉設(shè)備及鑄造模具21-22
• 2.2.3 壓縮設(shè)備及模具22-23
• 2.2.4 超聲波清潔機(jī)23
• 2.2.5 真空退火爐23-24
• 2.2.6 其它設(shè)備24
• 2.3 實(shí)驗(yàn)過程24-26
• 2.3.1 非晶成分濺射靶材制備過程24-25
• 2.3.2 細(xì)晶濺射靶材制備過程25-26
• 2.4 實(shí)驗(yàn)方法26-28
• 2.4.1 密度測試26
• 2.4.2 OM分析技術(shù)26
• 2.4.3 硬度分析技術(shù)26-27
• 2.4.4 DSC分析技術(shù)27
• 2.4.5 XRD分析技術(shù)27-28
• 2.4.6 掃描技術(shù)（SEM）28
• 2.4.7 電子背散射衍射技術(shù)（EBSD）28
• 2.4.8 透射技術(shù)（TEM）28
• 2.5 本章小結(jié)28-29
• 第3章 鑄造鈷基合金及組織分析29-41
• 3.1 熔煉及鑄造工藝29-30
• 3.2 鈷基合金組織分析30-39
• 3.2.1 成分測試分析30
• 3.2.2 金相觀測30-31
• 3.2.3 X射線衍射（XRD）分析31-32
• 3.2.4 掃描電鏡（SEM）分析32
• 3.2.5 掃描電鏡中的EDS分析32-36
• 3.2.6 透射電鏡（TEM）分析36-38
• 3.2.7 電子背散射衍射（EBSD）38
• 3.2.8 DSC分析38-39
• 3.3 本章小結(jié)39-41
• 第4章 細(xì)晶純金屬的制備與組織研究41-56
• 4.1 多向壓縮工藝參數(shù)的研究41-42
• 4.2 壓縮模具設(shè)計(jì)42-44
• 4.3 壓縮變形后的純鋁組織與性能分析44-49
• 4.3.1 顯微硬度分析44-45
• 4.3.2 初始材料微觀組織分析45-46
• 4.3.3 變形過程組織變化46-47
• 4.3.4 退火工藝的研究47
• 4.3.5 不同壓縮工藝下的微觀組織分析47-49
• 4.4 壓縮變形后的純銅組織與性能分析49-54
• 4.4.1 微觀硬度分析49-50
• 4.4.2 熱處理參數(shù)分析50-51
• 4.4.3 微觀組織分析51-54
• 4.5 討論部分54
• 4.6 本章小結(jié)54-56
• 結(jié)論56-58
• 參考文獻(xiàn)58-63
• 攻讀碩士期間承擔(dān)的科研任務(wù)與主要成果63-64
• 致謝64

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：826019