大型工件表面失效是限制軸承、汽車、機械制造等行業(yè)發(fā)展的重要瓶頸。在工件表面沉積功能薄膜是延長工件使用壽命、提高性能的有效手段。類金剛石(DLC)薄膜因具有較低的摩擦系數(shù)、較高的耐磨性、良好的生物性以及耐腐蝕性等優(yōu)點而被廣泛關注。然而在大型工件表面沉積DLC薄膜缺少合適的等離子體源,且不能按照實際需要區(qū)域化沉積薄膜。在眾多的DLC薄膜制備方法中,籠形空心陰極具有等離子體密度高、沉積速率快的優(yōu)點,籠網(wǎng)內(nèi)的工件和籠網(wǎng)之間施加偏壓,提高薄膜的性能。但是將大型工件完全籠罩在籠網(wǎng)里操作困難,大工件影響空心陰極放電,產(chǎn)生異常放電,而且所有的表面無論需要與否都必須沉積薄膜,同時封閉的空心陰極結(jié)構也不利于在大型工件上施加偏壓。根據(jù)薄膜生長的“亞注入模型”,基體偏壓有利于DLC薄膜中sp³雜化鍵的形成,偏壓調(diào)節(jié)轟擊粒子的能量,能控制和提高DLC薄膜結(jié)構和性能,是關鍵的參數(shù)。針對上述問題,本論文提出一種新型區(qū)域可控空心陰極放電沉積DLC薄膜技術,適用于大型工件表面區(qū)域化定制薄膜,對其放電特性和偏壓對Si-DLC薄膜性能和均勻性的影響進行了研究。期望解決大型工件表面鍍膜缺少等離子體源的問...

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【學位級別】：博士

圖1-1含氫DLC的三元相圖[2]

圖1-5空心陰極放電發(fā)展過程示意圖[63]

圖1-8Ar氣空心陰極放電伏安特性曲線和等離子體圖像[71]

圖1-12空心陰極放電內(nèi)表面處理[77]

本文編號：3888559