物理氣相沉積(Physical vapor deposition,簡稱PVD)硬質(zhì)金屬陶瓷涂層在各行業(yè)的應(yīng)用廣泛,并逐漸成為促進(jìn)國民行業(yè)發(fā)展的重要支柱之一。硬質(zhì)涂層性能對于工模具加工特性的影響極為關(guān)鍵。近些年,由于我國巨大的市場需求,致使我國涂層技術(shù)發(fā)展速度迅猛,在高硬度、多組元、多層膜研究領(lǐng)域已取得巨大進(jìn)步。但為滿足高強(qiáng)度材料的制造及復(fù)雜成型加工對高性能硬質(zhì)涂層的迫切需求,超硬、耐磨、抗高溫已成為開發(fā)高性能硬質(zhì)涂層的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)。詳細(xì)介紹了摻雜IVB族、VB族和VIB族元素對TiN、TiAlN涂層性能的影響,以及多層化、周期化涂層技術(shù)在強(qiáng)化硬質(zhì)涂層性能方面的研究現(xiàn)狀,并針對研究現(xiàn)狀提出擬解決的問題。

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圖1作者制備的TiN(左三)、TiAlN(右三)涂層刀具及模具

圖2TiAlN、TiAlCrN涂層的高溫氧化性能[15]

圖3TiAlMoN涂層的相結(jié)構(gòu)[16]

圖4TiAlSiN涂層刀具及XRD圖譜

本文編號：3886240