采用Ti40Al20Si10、Ti48Al50Ag2和Ti-MoS₂靶,制備了TiAlSiN/TiAlAgN/Ti(Mo)N-MoS₂多層涂層。通過掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、顯微硬度計、球-盤式摩擦磨損試驗機以及表面輪廓儀研究了涂層的表面形貌、微觀結構、硬度和摩擦學性能。結果表明:制備的多層涂層中含0.62%(原子分數(shù),下同)Mo,0.77%Ag和30.05%Ti,厚度約為3μm,硬度為21.09GPa。涂層在不同溫度條件下的磨損機制主要為黏著磨損,室溫條件下參與潤滑的物質為Si₂·H₂O水膜、MoS₂以及少量的Ag;200℃時的為Ag和MoS₂;400℃時的為MoS₂和大量Ag;600℃時的為Ag、Al₂O₃和SiO₂。涂層在室溫、200℃、400℃、600℃下的磨損率分別為0.051 7×10^-3,0.162 8×10<...

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【文章目錄】：
1 試驗
    1.1 涂層制備
    1.2 涂層性能表征
        1.2.1 涂層摩擦性能
        1.2.2 涂層形貌及成分
2 結果與討論
    2.1 涂層表面與截面形貌
    2.2 涂層相結構
    2.3 涂層的硬度及摩擦學性能
3 結論



本文編號：3831155